메뉴 건너뛰기

기가포톤, EUV 파일럿 광원으로 가동률 80% 이상의 가능성 확인

EUV 노광 장치를 반도체 양산 공장에 적용하기 위해 크게 전진

출처: Gigaphoton Inc.
2017-07-06 10:20

오야마, 일본--(Business Wire / 뉴스와이어) 2017년 07월 06일 -- 반도체 리소그래피 광원 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)가 현재 개발중인 EUV 스캐너용 레이저 생성 플라즈마(LPP) 광원에 대해 최첨단 반도체 양산 라인에서의 가동을 상정한 파일럿 광원주에서 양산 실현 레벨인 가동률(availability) 80% 이상의 가능성을 확인했다고 발표했다.

기가포톤은 올 봄, 현재 개발 검증 중인 EUV 파일럿 광원에서 모형 집광 미러를 탑재한 모의시험을 2주에 걸쳐 실시한 결과 가동률(availability) 64%라는 결과를 얻었다. 파일럿 광원의 자세한 동작 상황은 가동·대기시간 64%, 휴일·야간 등으로 인한 정지시간 25%, 기타 유지보수 등으로 인한 정지시간 11%였으며, 이는 휴일, 야간 등에도 정지하지 않고 가동시켰다고 가정하면 가동률(availability) 80% 이상과 동등하다고 할 수 있다.

기가포톤 대표이사 부사장 겸 CTO인 미조구치 하카루는 “최첨단 반도체 양산 라인에서의 가동을 상정한 파일럿 광원으로 가동률 80% 이상의 가능성을 확인한 것은 EUV 광원의 시장 도입이 조금 더 가까워졌다는 것을 시사한다. 기가포톤은 지속적으로 양산을 실현하기 위해 고가동·고신뢰성을 실현할 EUV 광원을 개발하겠다”고 말했다.

주) 기가포톤이 EUV 리소그래피 양산 공장 대응 사양으로 설계한 광원. 별칭 ‘고출력 실증기’
*이 건은 국립연구개발법인 신에너지·산업기술종합개발기구(NEDO)의 조성 프로그램 성과를 활용했다.

기가포톤(Gigaphoton) 개요

기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해왔다. 특허를 취득한 기가포톤의 혁신적인 기술인 LPP EUV 솔루션은 비용대비 효과 및 생산성이 뛰어난 양산용 EUV 스캐너를 만들기 위해 선도적인 역할을 해왔다. 기가포톤은 초기 연구개발 단계부터 제조, 판매, 보수서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계최고수준의 지원을 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.

보도자료에 기재된 정보는 발표시점의 정보이며, 예고 없이 변경될 수 있다.

비즈니스 와이어(businesswire.com) 원문 보기: http://www.businesswire.com/news/home/20170705005303/en

[이 보도자료는 해당 기업에서 원하는 언어로 작성한 원문을 한국어로 번역한 것이다. 그러므로 번역문의 정확한 사실 확인을 위해서는 원문 대조 절차를 거쳐야 한다. 처음 작성된 원문만이 공식적인 효력을 갖는 발표로 인정되며 모든 법적 책임은 원문에 한해 유효하다.]

언론 연락처

기가포톤주식회사
경영기획부
테라시마가츠토모
+81-285-37-6931
web_info@gigaphoton.com

이 뉴스는 기업·기관·단체가 뉴스와이어를 통해 배포한 보도자료입니다. 배포 안내

보도자료 공유하기

언론 연락처

기가포톤주식회사
경영기획부
테라시마가츠토모
+81-285-37-6931
web_info@gigaphoton.com

보도자료를 발표할 생각이세요?

뉴스와이어는 국내 최강의 보도자료
배포 플랫폼입니다.

무료 가입하기

서비스 자세히 보기

회원이세요? 로그인