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기가포톤, 반도체 제조장치 해석용 차세대 오픈 플랫폼 ‘FABSCAPE™’ 3월부터 제공 개시

모든 반도체 제조장치의 데이터를 통일화 하여 광범위한 해석 및 평가 가능, 업계에 새로운 기여

출처: Gigaphoton Inc.
2018-02-23 14:55

오야마, 일본--(Business Wire / 뉴스와이어) 2018년 02월 23일 -- 반도체 리소그래피 광원 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)가 반도체 노광장치의 가동을 모니터링하고 해석하는 차세대 솔루션 ‘FABSCAPE™’을 3월부터 제공한다고 발표했다.

다양한 장치로부터 출력되는 대량의 데이터를 수집하고 해석하여 활용하는 것은 어려운 작업이기 때문에 이전부터 많은 반도체 제조업체들이 해결해야 할 현안 사항이었다. 기가포톤의 ‘FABSCAPE™’는 제조업체에 상관없이 일률적으로 데이터를 취급할 수 있도록 하기 위해 개발된 오픈 플랫폼이다. ‘FABSCAPE™’ 위에 플러그인이나 드라이버를 확장 시킴으로써 모든 장치의 데이터를 통일화 하는 것도 가능해져 사용자는 동일 조건에서 보다 광범위하게 다른 장치와의 중요한 퍼포먼스 데이터를 해석하고 평가할 수 있게 된다.

또한 ‘FABSCAPE™’는 사용자가 다양한 기능의 플러그인이나 드라이버를 개발하여 조합함으로써 각각의 니즈에 맞추어 애플리케이션을 최적화할 수 있다.

앞으로 기가포톤도 비주얼라이저 툴(visualizar tool)뿐만 아니라 리소그래피 장치 그룹(Lithocell) 단위로 자동으로 유지보수 스케줄을 최적화하는 플러그인, AI 엔진을 활용한 자동화용 플러그인을 제공할 예정이다.

이에 더하여 기가포톤은 데이터 통일화 솔루션을 함께 개발하는 반도체 제조업체나 장치 제조업체, 기타 기관에 대해 ‘FABSCAPE™’를 온라인으로 제공할 예정이다. 뿐만 아니라 API나 샘플코드, 튜토리얼, 워크숍 등 풍부한 개발자용 툴을 제공하여 ‘FABSCAPE™’ 플랫폼 보급을 촉진해 나갈 것이다.

대표이사 사장 우라나카 카츠미는 “당사는 공급업체로서 고객의 문제 해결을 항상 중요한 미션으로 삼고 있지만, 동시에 각각의 고객들이 가진 특유의 문제를 고객 스스로 신속하고 간단하게 해결할 수 있는 커스텀 솔루션을 제공하는 것도 중요하게 인식하고 있다”고 말했다. 이어 “FABSCAPE™는 고객이 업계 안팎의 파트너와의 콜라보레이션을 통해 장치의 데이터를 보다 깊이 이해하고 균일하게 다룰 수 있는 대담한 오픈 소프트웨어”라며 “기가포톤은 FABSCAPE™을 매개로 한 이노베이션을 통해 업계에 새로운 기여를 할 수 있을 것으로 확신한다”고 말했다.

*‘FABSCAPE™’는 2018년 2월 25일~3월 1일에 캘리포니아주 새너제이(San Jose)에서 개최되는 ‘SPIE Advanced Lithography’의 세션10(3월 1일)에서 소개된다.

기가포톤(Gigaphoton) 개요

기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해왔다. 기가포톤은 초기 연구개발 단계부터 제조, 판매, 보수서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계최고수준의 지원을 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.

언론 연락처

기가포톤주식회사
경영기획부
테라시마 가츠토모
+81-285-37-6931
web_info@gigaphoton.com

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