<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><rss version="2.0"><channel><title><![CDATA[노벨러스시스템 보도자료 - 뉴스와이어]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/?md=A10&amp;act=article&amp;no=12623></link><description><![CDATA[노벨러스시스템 보도자료 - 뉴스와이어 RSS 서비스]]></description><lastBuildDate>Fri, 15 May 2026 02:26:51 +0900</lastBuildDate><copyright>Copyright (c) 2004~2026 Korea Newswire All rights reserved</copyright><image><url><![CDATA[https://file.newswire.co.kr/data/upfile/company_img/2009/10/2039103817_20091007094337_7087066175.gif]]></url></image><language>ko-KR</language><item><title><![CDATA[Novellus Ships 100th VECTOR Extreme System]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=556939</link><description><![CDATA[SAN JOSE, CA--(Korea Newswire)--Novellus Systems(NASDAQ: NVLS) today announced that it has shipped the company's 100th VECTOR® Extreme™ plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) system used for depositing thin dielectric films. Already deployed at all of the major memory fabs around the world, this milestone system will be installed at a leading Asian memory manufactur...]]></description><pubDate>Fri, 08 Jul 2011 10:24:04 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[Novellus Ships VECTOR(R) LED System to China SemiLEDs]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=555460</link><description><![CDATA[SAN JOSE, CA--(Korea Newswire)--Novellus Systems(NASDAQ: NVLS) announced that it has shipped a VECTOR® plasma-enhanced chemical vapor deposition(PECVD) system to Xurui Guangdian Co., Ltd.(“China SemiLEDs”), a joint venture company in the People‘s Republic of China in which SemiLEDs Corporation(NASDAQ: LEDS), a leading manufacturer of high-brightness light-emitting diodes(LEDs)...]]></description><pubDate>Fri, 01 Jul 2011 10:02:12 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스, 업계에서 가장 빠른 PECVD 시스템, VECTOR EXTREME TEOS xT 출시]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=524509</link><description><![CDATA[산호세--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템(NASDAQ: NVLS)은 자사의 신제품 VECTOR® Extreme TEOS xT TM를 전 세계의 주요 반도체 기업으로부터 수주 출하했다고 밝혔다. 노벨러스의 우수한 VECTOR  Extreme  플랫폼에 기반을 두고 있는VECTOR Extreme TEOS xT시스템은 시간당 300개 이상의 웨이퍼 생산을 가능케 하는 업계에서 가장 빠른 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 시스템이...]]></description><pubDate>Fri, 28 Jan 2011 10:33:31 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스, 32nm이하 전공정(FEOL)과 더블 패터닝 공정을 위한 균일막 증착 기술 선보여]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=492834</link><description><![CDATA[서울--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템(NASDAQ: NVLS)은 4:1 이상의 종횡비 구조에서 100% 스텝 커버리지 절연막 증착을 위한 균일막 증착 기술(Conformal Film Deposition: CFDTM)을 개발 했다고 발표했다. 이 혁신적인 CFD기술은 게이트 라이너와 간극막, STI (Shallow Trench Isolation)용 고 유전 금속 게이트(High-K Metal Gate: HKMG) 라이너 와 더블 패터닝에 사용된 과 같은 32nm이하 전 ...]]></description><pubDate>Wed, 25 Aug 2010 09:48:56 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스, 선진 웨이퍼 래벨 패키지 시장을 위한 새 장비 조합 발표]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=489932</link><description><![CDATA[산호세--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템(NASDAQ: NVLS)은 웨이퍼 레벨 패키징(WLP) 시장의 새로운 요구사항에 대응할 수 있는 해결책을 마련하고자 VECTOR PECVD, INOVA PVD, 및 감광액(Photoresist) 제거 장비인 GxT의 새로운 모델을 출시했다. 이 새로운 모델들은 노벨러스의 선진 배선 기술(Interconnect technology)을 활용했으며, 3D 통합의 기술적 문제점 해결을 위해 기존 패키징 장비들에...]]></description><pubDate>Mon, 09 Aug 2010 09:27:50 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스, 선진 웨이퍼 레벨 패키지 시장을 위한 전기도금 시스템 SABRE® 3D 발표]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=488813</link><description><![CDATA[산호세--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템(NASDAQ: NVLS)은 빠르게 성장하고 있는 선진 웨이퍼 레벨 패키지(WLP) 시장을 위한 전기도금 시스템인 SABRE 3D를 개발했다고 발표했다. SABRE 3D의 유연한 모듈형 아키텍처는 업계를 주도하고 있는 노벨러스의 SABRE Electrofill® 구리 상감 기술을 사용, 구리 TSV (through-silicon via), 구리 RDL (redistribution layers), 필러(pillars), 언더 범프(un...]]></description><pubDate>Mon, 02 Aug 2010 09:49:43 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스, 혁신적인 DIRECTFILL CVD 텅스텐 나이트라이드(WN) 선형 방지막 개발]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=474503</link><description><![CDATA[서울--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템(NASDAQ: NVLS)은 진보된 메모리 소자에서 텅스텐 비아와 구리배선 연결에 쓰이는 기존 물리 기화 증착(PVD)방식의 Ti 선형막과 금속-유기 화학 기화 증착 방식(MOCVD)의 TiN 방지막을 대체할 혁신적인 DirectFill CVD 텅스텐 나이트라이드(WN) 선형 방지막을 개발했다고 발표했다. 이 WN막은 노벨러스 다중순차증착(MSSD) 방식의ALTUS설비와 특허 받은 PNL®...]]></description><pubDate>Tue, 18 May 2010 09:26:10 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스, 32nm이하 노광 공정서 임계 선폭 조절 가능한 초정밀 반사 방지막 개발]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=473361</link><description><![CDATA[서울--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템(NASDAQ: NVLS)은 웨이퍼 간 두께 편차가 2A(angstroms) 이내인 초 정밀 반사 방지막(Anti-Reflective Layer)을 플라즈마 화학 증착 장비 (PECVD)인 노벨러스 VECTORTM 플랫폼에서 개발했다고 발표했다. VECTORTM 의 다층 순차 증착 방식(Multi-Station Sequential Process: MSSP®)을 이용한 이 새로운 공정 기술은 매우 균일한 박막 두께, 굴절계수(n)와 흡...]]></description><pubDate>Wed, 12 May 2010 09:51:23 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[피터 울터스, 혁신적인 실리콘 웨이퍼 그라인딩 기술로 5배 더 평탄한 웨이퍼 생산]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=469112</link><description><![CDATA[산호세--(뉴스와이어)--고정밀 기계장치 제공업체로 선도적 기업이며 노벨러스 시스템(NASDAQ: NVLS)의 자회사인 피터 울터스(Peter Wolters GmbH)는 안정된 AC2000 플랫폼의 양면 공정 아키텍처(double-sided processing architecture)를 바탕으로 하는 혁신적인 PPG™ (Planetary Pad Grinding)를 개발했다고 발표했다. PPG 기술은 다른 그라인딩 기술을 이용해 생산한 웨이퍼에 비해 5배 더 평탄...]]></description><pubDate>Wed, 21 Apr 2010 10:16:34 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스, 3-D 반도체 조립을 위한 구리 TSV 공동개발 프로그램 발표]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=465075</link><description><![CDATA[서울--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템(나스닥: NVLS)은 자사의 SABRE® 구리 전기도금과 VECTOR® PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition)시스템을 사용해 제조할 가치가 있는 구리에 기반을 둔 3-D TSV(Through Silicon Via, 관통전극)를 설계하기 위해 IBM과 공동개발 프로그램을 체결했다고 발표했다. 새 공정은 소형인수가 필요하고, 전력소모가 낮아야 하는 발전된 제품 애플리케...]]></description><pubDate>Wed, 31 Mar 2010 10:18:15 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스, TSV 조립을 위한 혁신적인 구리 전도 기술 개발]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=463484</link><description><![CDATA[서울--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템(나스닥: NVLS)은 신흥TSV (Through-Silicon-Via) 조립 시장을 겨냥한 진보한 새로운 구리 절연/전도(cooper barrier-seed, CBS) 물리적 증기 증착 (physical vapor deposition, PVD) 공정을 발표했다. 새롭게 발표한 구리 절연/전도 PVD 공정은 특허를 받은 HCM (Hollow Cathode Magnetron)기술과 함께 양산화가 검증된 INOVA®플랫을 사용해 TSV애플리케이...]]></description><image><url><![CDATA[https://file.newswire.co.kr/data/datafile2/thumb/2010/03/2039103817_20100323095502_1204242717.jpg]]></url></image><pubDate>Tue, 23 Mar 2010 09:55:16 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스, IBM 및 알바니 CNSE와 전략적 제휴]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=460123</link><description><![CDATA[서울--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템 (나스닥: NVLS), IBM (뉴욕증권거래소: IBM) 과 CNSE(College of Nanoscale Science and Engineering)는 CNSE 알바니 나노테크 연구단지에서 22 나노와 그 이하 나노 전자공학 기술을 위한 반도체 공정 개발을 목표로 전략적 제휴를 맺었다고 발표했다.  오늘날 대량생산되고 있는 최첨단 반도체는 45나노 및 32나노 회로이며 28나노 및 그 이하 세대는 개...]]></description><pubDate>Thu, 04 Mar 2010 10:28:43 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스, 1000번째 VECTOR PECVD 설비 출하]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=457591</link><description><![CDATA[서울--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템 (나스닥- NVLS)은 싱가포르에 위치한 글로벌파운드리즈(GLOBALFOUNDRIES)의 공장 Fab7에 1000번째 VECTOR 플라즈마화학증착(PECVD) 시스템을 입고했다고 발표했다. 첨단 반도체 제조 기술의 선도적인 공급업체인 글로벌파운드리즈는 최근 차터드 세미컨덕터 매뉴팩쳐링(Chartered Semiconductor Manufacturing)과의 통합을 완료했고, Fab7에서 65나노 기술 ...]]></description><image><url><![CDATA[https://file.newswire.co.kr/data/datafile2/thumb/2010/02/2039103817_20100218102625_1379049777.jpg]]></url></image><pubDate>Thu, 18 Feb 2010 10:27:07 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스, 45나노 이하 세대 대량생산을 위한 자외선 열공정 장치 ‘SOLA® xT’ 설비 출시]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=453364</link><description><![CDATA[서울 --(뉴스와이어)--노벨러스 시스템 (니스닥- NVLS)은 차세대 자외선 열공정 장치인 SOLA® xT 설비를 발표했다. SOLA® xT는 45nm이하의 발전된 로직 디바이스의 제조 과정에서 사용되며, 자외선과 열에 노출시킴으로써 미리 증착된 막의 물리적 특성을 변경시키는 자사의 자외선 열공정을 통합한다. 자외선 모니터링 기능이 탑재되어 있고 광 어셈블리(optics assembly) 선택 기능을 갖춘 새로...]]></description><pubDate>Tue, 26 Jan 2010 10:34:39 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스, 32나노 이하 리소그래픽 패터닝이 가능한 Ashable hardmask(AHM) PECVD 필름 개발]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=445138</link><description><![CDATA[서울--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템(나스닥: NVLS)은 현재 업계에서 사용되고 있는 일반적인 비결정질 탄소박막에 비하여 약 25% 이상 식각비가 우수한 Ashable hardmask(AHM)을 개발했다. 높은 선택비과 투명성을 띈(high selective and transparent, HST) AHM 필름군은 노벨러스가 특허를 받은 edge bevel removal(EBR) 기술과 함께, 다이(die) 수율을 약 7%까지 향상시킬 수 있다.  32나노 ...]]></description><image><url><![CDATA[https://file.newswire.co.kr/data/datafile2/thumb/2009/12/2039103817_20091209104528_6747505785.jpg]]></url></image><pubDate>Wed, 09 Dec 2009 10:47:24 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스, 진보된 LRWxT 공정으로 텅스텐 저항 성능 개선]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=440748</link><description><![CDATA[서울--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템 (Nasdaq: NVLS)은 기존 텅스텐 화학증기증착법 (CVD-W)기술과 비교하여 30나노 기술노드에서 컨택(contact) 및 라인(line)의 저항을 효과적으로 낮추는 LRWxT라는 명칭의 새로운 텅스텐(W) 증착 공정을 개발했음을 발표했다. 이 새로운 공정은 매우 균일하며 낮은 비저항을 갖는 큰 grain의 텅스텐을 증착하기 위해 노벨러스의 ALTUS® Max system을 이용한...]]></description><image><url><![CDATA[https://file.newswire.co.kr/data/datafile2/thumb/2009/11/2039103817_20091117102412_1328322705.jpg]]></url></image><pubDate>Tue, 17 Nov 2009 10:24:20 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스, 22나노 구리 전기도금용 SABRE® EXCEL™ 출시]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=438276</link><description><![CDATA[서울--(뉴스와이어)--노벨러스(NASDAQ: NVLS)는22나노 및 이후 세대 기술 노드 에서 업계 최고의 fill과 결함 빈도 성능을 제공할 수 있는 발전된 구리 전기도금 설비인 SABRE Excel를 발표했다. SABRE Excel은 이미 전세계적으로 80% 이상의 구리배선 소자 생산에 사용되고 있는 검증된SABRE를 기반으로 개발되었다. SABRE Excel 본체는 새로운 하드웨어, 소프트웨어 및 공정 설비의 메인 프레...]]></description><pubDate>Wed, 04 Nov 2009 10:16:11 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스 SPEED MAX 고밀도 화학증착법 유전체 Gapfill 장비로 32나노 STI공정 가능]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=436825</link><description><![CDATA[산호세--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템(나스닥:NVLS)은 자사의 SPEED Max 쉘로우 트렌치 분리 (shallow trench isolation, STI)어플리케이션을 32나노 기술 노드에서도 사용할 수 있도록 제조 공정을 개발했다고 발표했다.   개발된 새로운 공정 기술은 SPEED Max 고밀도 플리즈마 화학증착법(HDP-CVD)플랫폼의 다이내믹 프로파일 컨트롤 (DPC™)을 이용한다. 증착, 식각 및 S/D ratio (sputter-to...]]></description><image><url><![CDATA[https://file.newswire.co.kr/data/datafile2/thumb/2009/10/2039103817_20091028105030_2471922223.jpg]]></url></image><pubDate>Wed, 28 Oct 2009 10:50:47 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스, 삼성전자로부터 ‘BEST IN VALUE’ 공급업체 상을 수상 받아]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=435481</link><description><![CDATA[서울--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템 (나스닥: NVLS)는 오늘 2009년 9월16일 캘리포니아, 산타클라라에서 열린 삼성전자의 공급업체 감사의 날 (Supplier Appreciation Day)에서 “Best in Value” 공급업체상을 수상했다고 발표했다. “Best in Value” 상의 의미는 삼성전자가 공급업체에게 주는 최고의 영예이며, 삼성전자 최고 경영자인 이윤호 부회장이 노벨러스 최고 경영자인 리차드 힐 회장...]]></description><pubDate>Wed, 21 Oct 2009 11:36:12 +0900</pubDate></item><item><title><![CDATA[노벨러스 시스템, 다중 파장의 자외선 열처리 기술 개발]]></title><link>https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=432694</link><description><![CDATA[산호세--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템(NASDAQ:NVLS)은 다중 파장의 자외선 열처리 기술(UVTP: UV Thermal Processing)을 개발했다고 발표했다. 이번 처리기술은 노벨러스의 SOLA® 플랫폼에서 구현되어 박막 강도가 동일 k값을 갖는 유전막에 대한 단파장처리기법에 비해 25% 향상된다.  32nm 및 이후 세대의 반도체 제조공정에서, 소자의 성능을 향상시키기 위해 초저유전상수(ULK : Ultra Low K...]]></description><image><url><![CDATA[https://file.newswire.co.kr/data/datafile2/thumb/2009/10/2039103817_20091007111747_6094693850.jpg]]></url></image><pubDate>Wed, 07 Oct 2009 11:18:48 +0900</pubDate></item></channel></rss>