영국에 기반을 둔 인피니티시마(Infinitesima Limited)는 반도체 산업을 위한 첨단 계측 솔루션 분야 선도 기업이다. 이 회사는 원자력 현미경(AFM)의 3차원 표면 탐지 기능, 고속 레이저 활성화, 간섭계의 정확성을 결합한 혁신적인 기술인 RPM™(Rapid Probe Microscope)을 개발했으며, 이는 광범위한 특허 포트폴리오에 의해 보호되고 있다. 반도체 제조회사들은 현재의 광학 및 전자빔 기술로는 해결할 수 없는 차세대 공정 제어를 위해 더 높은 분해능의 3D 계측 솔루션을 점점 더 필요로 하고 있다. 인피니티시마는 인라인 서브 나노미터 3D 공정 제어에 대한 고객의 증가하는 수요를 충족시키기 위해 자사의 특허 기술인 RPM™을 적용한 고속 계측 시스템 Metron®3D를 출시했다. 보다 자세한 정보는 홈페이지에서 확인할 수 있다. * 1 나노미터(nm)는 10⁻⁹ 미터이며, 실리콘 원자 1개의 지름은 약 0.2 nm 이하이다.
