인피니티시마의 Metron®3D 300mm 시스템, 선도적인 DRAM 제조사의 인라인 공정 제어에 채택
초고속 인라인 원자력 현미경(atomic force microscope, AFM)인 Metron®3D, SK하이닉스의 첨단 DRAM 제조 라인에 채택
Metron®3D, 통상적인 AFM보다 10배 빠른 속도로 이미지 생성이 가능해 대량 생산(high-volume manufacturing, HVM)의 신속한 처리 작업에 적합
인피니티시마(Infinitesima)의 Metron®3D
SK하이닉스의 최영현 DMI(결함 분석, 계측 및 검사 기술) 담당 선임(Head of DMI)은 “나노미터 수준에서의 3차원 공정 제어는 첨단 DRAM 공정에서 고수율을 보장하는 데 있어서 점점 더 중요해지고 있다. 인피니티시마의 Metron®3D는 HVM 구현에 필요한 비용 효율성을 갖춘 우수한 서브 나노미터 3D 계측 성능을 입증했다”고 말했다.
Metron®3D는 통상적인 AFM 처리량보다 10배에서 100배의 AFM 계측 능력을 제공하는 인피니티시마 고유의 RPM™(Rapid Probe Microscope™) 기술을 특징으로 한다. 또한 이 시스템은 완전 자동화된 웨이퍼, 데이터, 프로브 핸들링 기능을 지원해 반도체 디바이스의 인라인 대량 생산에 최적화돼 있다. 이 계측 솔루션에 대한 투자는 SK하이닉스가 컴퓨터 메모리의 개발 및 제조 분야에서 기술 리더십을 유지하기 위해 얼마나 노력하고 있는지를 잘 보여준다.
인피니티시마의 피터 젠킨스(Peter Jenkins) 회장 겸 CEO는 “SK하이닉스와 협력하게 돼 매우 기쁘다. SK하이닉스의 지원과 지도 덕분에 우리 Metron®3D 시스템이 신속히 품질 평가를 마치고 HVM에 채택될 수 있었다”고 밝혔다.
* 1 나노미터(nm)는 10⁻⁹ 미터며, 실리콘 원자 1개의 지름은 약 0.2nm 이하다.
SK하이닉스 소개
SK하이닉스(SK hynix)는 전 세계 다양한 고객에게 DRAM(Dynamic Random Access Memory) 칩과 플래시 메모리 칩(NAND 플래시)을 공급하는 세계 최고 수준의 반도체 공급회사다. SK하이닉스의 주식은 한국거래소에 상장돼 있으며, 글로벌 예탁증서(GDR)는 룩셈부르크 증권거래소에 상장돼 있다. SK하이닉스에 대한 추가 정보는 홈페이지 및 홈페이지 내 보도자료 페이지에서 확인할 수 있다.
인피니티시마 소개
영국에 기반을 둔 인피니티시마(Infinitesima Limited)는 반도체 산업을 위한 첨단 계측 솔루션 분야 선도 기업이다. 회사는 원자력 현미경(AFM)의 3차원 표면 탐지 기능, 고속 레이저 활성화, 간섭계의 정확성을 결합한 혁신적인 기술인 RPM™(Rapid Probe Microscope)을 개발했으며, 이는 광범위한 특허 포트폴리오에 의해 보호되고 있다. 반도체 제조회사들은 현재의 광학 및 전자빔 기술로는 해결할 수 없는 차세대 공정 제어를 위해 더 높은 분해능의 3D 계측 솔루션을 점점 더 필요로 하고 있다. 인피니티시마는 인라인 서브 나노미터 3D 공정 제어에 대한 고객의 증가하는 수요를 충족시키기 위해 자사의 특허 기술인 RPM™을 적용한 고속 계측 시스템 Metron®3D를 출시했다. 보다 자세한 정보는 홈페이지에서 확인할 수 있다.
SK하이닉스 홈페이지: https://www.skhynix.com
SK하이닉스 보도자료 페이지: https://news.skhynix.com
웹사이트: https://www.infinitesima.com/
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