리가쿠, 반도체 시장용 XTRAIA XD-3300 양산 개시

초고속 비파괴 계측으로 차세대 메모리 및 로직 가속화

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2025-07-30 15:40

도쿄--(Business Wire / 뉴스와이어)--X선 계측 시스템의 글로벌 솔루션 파트너이자 리가쿠 홀딩스(Rigaku Holdings Corporation)의 그룹사인 리가쿠(본사: 도쿄 아키시마, 최고경영자: 가와카미 준)가 고해상도 마이크로스팟 X선 회절 시스템인 XTRAIA XD-3300의 본격적인 양산을 시작했다.

생성형 AI 및 데이터센터 수요를 배경으로 반도체의 스케일링 및 3D화가 전례 없는 속도로 진행되고 있다. 이에 따라 고대역폭 메모리(HBM), 3D D램과 같은 차세대 메모리와 2nm 및 그 이후 세대의 로직 반도체에 대한 요구가 증가하고 있다. 이러한 디바이스에서 고성능을 확보하기 위해 칩 제조업체들은 Si/SiGe(실리콘/실리콘-게르마늄) 공정을 사용하는 초격자(superlattice, 나노 크기의 집적 구조)를 점점 더 많이 채택하고 있다. 이러한 첨단 내부 구조를 적절히 제어하기 위해서는 제품 성능과 수율 향상의 열쇠를 쥐고 있는 Si/SiGe 박막의 구성과 두께를 정확하게 평가하는 계측 기술이 필수적이다.

이러한 요구에 부응하기 위해 리가쿠는 X선 광학 시스템부터 검출기 및 회절 소프트웨어까지 전적으로 자체 설계 및 제작한 독자적인 계측 시스템인 XTRAIA XD-3300을 개발했다. 이 시스템은 웨이퍼의 미세 패드에서 최고 해상도로 초격자 구조의 직접적인 비파괴 회절 측정이 가능한 세계 유일의 시스템이다.

XTRAIA XD-3300의 독자적인 X선 광학 시스템은 핵심적인 성능을 구현한다. 초고성능 미러와 만곡 결정(bent crystal)을 결합한 이 시스템은 이전 제품보다 최대 100배 빠른 속도로 측정을 완료할 수 있다. 몇 시간이 걸리던 회절 측정 작업을 이제 단 몇 분 만에 완료할 수 있다.

또한, 첨단 회절 소프트웨어는 이러한 복잡한 다층 초격자의 주기성 및 경계면 품질에 대한 정확한 수치 결과를 제공한다.

리가쿠는 이 제품의 매출이 2025 회계연도에 10억엔(약 690만달러, 환율 145엔=1달러 기준)을 넘어설 것으로 예상한다. 회사는 이미 신규 공장 건물을 완공하고 생산 부스를 15개로 늘리는 등 생산 능력 확장을 완료했다. 리가쿠는 2025 회계연도 4분기부터 여러 글로벌 반도체 제조업체에 이 제품을 납품하며 매출이 빠르게 확대될 것으로 기대하고 있다. 리가쿠는 2030 회계연도에 약 100억엔(약 6900만달러)의 매출을 목표로 하고 있다.

수석부사장 겸 제품 부문 총괄 매니저 오가타 키요시(Kiyoshi Ogata)는 “XTRAIA XD-3300은 리가쿠의 첨단 기술의 결정체이다. 우리는 이미 Si/SiGe 초격자를 사용해 차세대 반도체를 개발하는 여러 첨단 반도체 제조업체에 이 시스템을 납품했다”라며 “이들 기업이 차세대 반도체 양산 체제로 전환함에 따라 XTRAIA XD-3300의 공급이 확대될 것으로 기대한다. X선 회절을 이용한 고해상도 비파괴 계측은 차세대 반도체 생산의 품질 관리를 지원하는 핵심 기술로서 앞으로 수개월, 수년 내에 그 중요성이 더욱 커질 것으로 확신한다”라고 말했다.

XTRAIA XD-3300 특징

·고해상도로 미세 구조를 직접 육안으로 비파괴 분석
가로 40µm 미만의 미세 패드에서 나노 크기 다층 구조 내부를 상세하게 비파괴 회절 분석한다. 세계 최고 수준의 해상도는 수율 향상으로 직결된다.
·이전 모델 대비 100배 향상된 측정 속도
최신 미러 기술이 적용된 X선 집광 광학계를 사용하는 XTRAIA XD-3300은 세계에서 가장 밝은 소점(small-spot) X선 빔을 제공한다. 이를 통해 방대한 측정 작업을 매우 빠른 속도로 완료할 수 있으며, 높은 처리량으로 생산 라인에 쉽게 적용할 수 있다.
·복잡한 초격자 구조의 회절 분석이 가능한 유일한 소프트웨어 탑재
첨단 회절 소프트웨어는 Si/SiGe 및 기타 다층 구조의 주기성과 경계면 품질에 대한 정확한 수치 분석을 제공한다. 이 강력한 기능은 최첨단 메모리 및 로직 반도체 소자의 대량 생산과 개발 단계를 모두 지원한다.

제품에 대한 자세한 정보: https://rigaku.com/products/semiconductor-metrology/xtraia-xd-series/xtraia-xd-3300?setLang=english

참고: 미국 달러(USD) 환산액은 근사치이며, 참고용으로만 제공된다.

리가쿠 그룹 소개

1951년 설립 이래 리가쿠 그룹의 엔지니어링전문가들은 첨단 기술을 통해 사회를 이롭게 하는 데 전념해 왔으며 엑스레이 및 열분석(thermal analysis) 등 핵심 분야에서 두각을 나타냈다. 90여 개국 시장에 진출해 있으며 9곳의 글로벌 사업장에서 약 2000명의 직원을 보유한 리가쿠는 산업 및 연구 분석 기관의 솔루션 파트너이다. 해외 매출 비중이 약 70%를 기록했을 뿐 아니라, 일본 내에서도 매우 높은 시장 점유율을 유지하고 있으며, 고객과 함께 계속 발전하며 성장하고 있다. 응용 분야가 반도체, 전자 소재, 배터리, 환경, 자원, 에너지, 생명과학에서 기타 첨단 기술 분야로 확대되면서 리가쿠는 혁신을 실현하여 ‘세상을 개선하는 새로운 관점을 강화한다(To Improve Our World by Powering New Perspectives).’ 웹사이트: rigaku-holdings.com/english

이 보도자료는 해당 기업에서 원하는 언어로 작성한 원문을 한국어로 번역한 것이다. 그러므로 번역문의 정확한 사실 확인을 위해서는 원문 대조 절차를 거쳐야 한다. 처음 작성된 원문만이 공식적인 효력을 갖는 발표로 인정되며 모든 법적 책임은 원문에 한해 유효하다.

사진/멀티미디어 자료 : https://www.businesswire.com/news/home/20250729915168/en

웹사이트: https://rigaku-holdings.com/english/