Wooptix, 업계 선도적인 속도와 분해능을 제공하는 새로운 Phemet® 인라인 반도체 웨이퍼 계측 팹 솔루션 출시
Phemet®, 초당 1600만 개 이상의 데이터 포인트를 초고분해능으로 포착해 메모리 및 로직 디바이스와 첨단 패키지의 표면을 높은 정확도로 측정
우프틱스(Wooptix), 새로운 Phemet® 인라인 반도체 웨이퍼 계측 팹 솔루션 출시
완전 자동화된 페멧 계측 시스템은 전체 실리콘 웨이퍼를 단일 이미지로 측정해 웨이퍼의 형상과 나노토포그래피(nanotopography)는 물론 휨, 뒤틀림, 기타 맞춤형 파라미터들을 포착한다. 이 시스템은 블랭크, 패턴화 또는 본딩된 웨이퍼를 측정할 수 있는 다목적 계측장비다. 페멧은 소음이 적고, 진동에 대한 내성을 갖추고 있어 측정의 정확도를 향상시킨다. 팹 운용 및 수율을 담당하는 엔지니어는 이 시스템의 원시 데이터를 활용해 정보의 이력을 추적함으로써 오버레이 오차 및 기타 결함의 원인을 정확히 파악하고 수율을 개선할 수 있다.
Wooptix는 페멧에 독자적인 파면 위상 이미징(WFPI) 기술을 적용해 웨이퍼의 빛 분포를 포착하고 자체 알고리즘을 사용해 위상 맵을 구축한다. WFPI 기술은 웨이퍼의 전체 지형도(topography)와 뒤틀림을 포함한 시료의 상세 정보를 담은 서브나노미터 분해능의 파면 위상 맵을 신속하게 획득할 수 있으며, 4700 x 4700 픽셀의 초고분해능을 제공한다.
반도체 업계 정보 플랫폼인 테크인사이츠(TechInsights)의 리스토 푸하카(Risto Puhakka) 반도체 시장 분석 총괄 매니저는 “반도체 제조가 점점 더 작은 기하학적 구조, 3D 집적, 보다 엄격한 공정 허용 오차를 추구하는 방향으로 나아가면서 보다 정확한 웨이퍼 형상 및 평탄도 측정이 갈수록 더 중요해지고 있다. 반도체 업계는 공정 제어 비용을 개선하고 오버레이 오차를 최소화하며 전반적인 디바이스 성능과 수율을 향상시킬 수 있는 전 영역 뷰, 고분해능, 고속 측정을 결합한 방법과 같은 혁신적이며 높은 처리량의 계측 방법을 계속해서 찾고 있다”고 말했다.
라모스 CEO는 “우리는 메모리 및 로직 반도체 업계 티어1 고객사들과 함께 새로운 페멧 시스템을 테스트했으며, 그 결과는 놀라웠다. 곧 다수의 주요 고객사에 페멧 시스템을 공급해 양산에 활용할 수 있기를 기대한다”고 밝혔다.
Wooptix는 삼성벤처투자, 인텔 캐피탈, TEL 벤처 캐피탈 등을 포함한 투자자들로부터 3500만달러 이상의 투자를 유치했다. 페멧은 2025년 11월부터 시연이 가능할 예정이다. 자세한 내용은 웹사이트(www.wooptix.com) 또는 동영상(www.youtube.com/watch?v=YvGEwoxj5pA)을 참조하면 된다.
Wooptix 소개
우프틱스(Wooptix)는 천문학 적응 광학 연구에서 파생된 기술인 파면 위상 이미징(WFPI)을 활용해 반도체 계측 분야의 혁신적인 선도 기업으로 주목받고 있다. Wooptix의 다학제적 팀은 인라인 측정을 위한 최고 수준의 가로 방향 분해능과 가장 빠른 측정 기술을 제공하는 독자적인 시스템과 알고리즘으로 반도체 계측 분야에서 혁신을 주도하고 있다. Wooptix는 전 세계 다양한 고객사의 제조 현장에 자사의 솔루션을 성공적으로 구축했다. Wooptix는 테네리페(스페인), 마드리드(스페인), 샌프란시스코(미국)에 사무소를 운용하고 있다. 자세한 정보는 홈페이지에서 확인할 수 있다. Phemet®은 Wooptix의 등록 상표다.
웹사이트: http://www.wooptix.com
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