풍산, 반도체 장비 연구소 오픈
최근 사업다각화를 위해 반도체 장비 분야의 진출한 풍산마이크로텍은 31일(이하 한국시간) 미국 캘리포니아주 샌타클래라에 반도체 열처리 장비연구소를 설립하고 오프닝 행사를 가졌다.
풍산마이크로텍이 개발하는 장비는 실리콘 웨이퍼의 회로선폭을 미세화 하는데 필수적으로 사용되는 고유전율물질(일명 High-K)을 소자에 증착시킬 수 있도록 하는 저온·고압 수소가스 열처리로(爐)이다.
이 열처리로는 차세대 반도체 제조 공정인 45나노미터(nanometer) 공정 기술을 사용해 트랜지스터 10억개를 집적한 S램(SRAM: Static Random Access Memory)칩을 제조하는데 필수적인 열처리 장비로 IBM과 텍사스인스투르먼트(TI) 등 여러 반도체 회사로부터 주목을 받고 있다.
또한 이 열처리로는 High-K 물질을 다루는 이외에, 기존의 반도체 웨이퍼 고온열처리 장비를 대신할 경우에도 전력관리 칩(Mosfet)의 소자수명을 5배 이상 연장시키고, 구동속도 또한 15% 정도 빨라지는 효과가 있어 기존 반도체 고온열처리로 시장에도 큰 영향이 미칠 것으로 전망된다.
이날 행사에는 풍산의 류진 회장과 국제 반도체 회사들의 공동출자연구소인 SEMATECH의 관계자 및 IBM, TI, HP 등의 회사에서 연구개발팀이 참여하여 장비 가동 시범들을 직접 관람하는 등 각별한 관심을 나타냈다.
풍산마이크로텍은 오는 3월까지 기존 열처리로 장비를 저온·고압열처리로 장비로 개조하고 8월까지 테스트를 거쳐 SEMATECH에 납품할 계획이며, 본격적인 매출이 발생할 2007년에는 3천6백만달러의 매출과 1천만달러의 영업이익을 거둘 수 있다고 풍산 관계자는 설명했다.
이번 오픈한 연구소는 140여평의 규모로 파이로트 실험설비를 갖추고 있으며, 2명의 박사급 연구원과 함께 7명의 엔지니어가 중심이 되어 차세대 열처리로를 개발하게 된다. 한편 풍산마이크로텍은 기존의 판매 제품인 반도체 리드프레임과 함께 새로 개발 중인 차세대 열처리로의 미국 현지 판매를 위해서 이번 오픈한 연구소를 영업소로도 운영할 계획이다.
피에스엠씨 개요
피에스엠씨는 1985년 반도체 재료산업의 불모지였던 우리나라에서 개척자적 정신으로 반도체의 핵심부품인 리드프레임 사업을 시작하였다. 10여년간 오직 한곳에만 매진한 결과 현재에는 국내 최대의 스탬핑방식 리드프레임 공급업체로 성장하였으며, 1000여종의 다양한 제품군과 국내외 70여개의 대형안정거래선을 확보한 세계 10-12위권의 기업으로 도약하였다.
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