KIST 나노표면 분석장비 구축

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2006-03-23 10:52

서울--(뉴스와이어)--한국과학기술연구원(KIST·원장 김유승)은 3월 23일 최근 들어 첨단소재 분야 연구의 중요한 부분을 차지하는 핵심장비 중 하나인 동적 이차이온질량분석기(Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry)와 나노전자현미경(Nano-Scanning Electron Microscope) 장비를 KIST에 구축, 설치를 완료하였다고 밝혔다.

이와 같은 최신의 나노 분석 장비들의 새로운 구축은 기존에 구축되어 있던 분석 장비와 함께 재료 및 소자의 구조와 성분에 대한 명확한 이해를 도모하고 새로운 소재·소자개발에 결정적인 역할을 함으로써 첨단 기술 분야에 경쟁력 있는 원천분석 기술력을 확보할 수 있게 되었다.

동적 이차이온질량분석기 (Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry)는 일차이온으로 표면을 때리는 동안 방출하는 이온을 분석하여 화학적 성분 및 표면구조를 얻어낼 수 있는 표면분석장비이다.

KIST에 설치된 동적 이차 이온질량분석기(D-SIMS) 및 나노 전자현미경(Nano-SEM) 장비는 다른 표면분석 장비로는 얻어낼 수 없는 재료 및 소자의 극미량 성분 분석에 활용할 수 있고, 특히 수 나노미터의 자성박막의 극미량, 극미세 물질분석을 통하여 차세대 반도체 개발 등에 중요한 역할을 하며, 정량분석과 다층박막의 신속한 분석이 특징이라 할 수 있다.

KIST는 나노표면 분석장비들을 완벽하게 확보함으로서 연구원이 중점적으로 추진하고 있는 나노소재기술개발, 스핀트로닉스, 테라급나노소자 등 NT 관련 대형국책사업 연구에 더욱 박차를 가할 수 있게 되었다.

또한 KIST는 국내외 연구진 및 산업체에도 문호를 개방함으로서 D-SIMS 및 Nano-SEM 장비를 전문적인 과학기술 분야에 활용을 확대할 예정이다.

한국과학기술연구원 개요
한국과학기술연구원(KIST)은 지난 1966년 우리나라 최초의 종합연구기관으로 설립되었다.

웹사이트: http://www.kist.re.kr