“얇게, 더 얇게-반도체 증착기술이 진화한다”
ALD 관련기술 출원동향
이로 인해 기존의 물리증착기술(PVD)과 화학증착기술(CVD)이 막 두께에 비해 회로선폭이 좁은 고집적 나노급 반도체에 적용하기 곤란하다는 한계를 극복한 것으로 평가받고 있다.
특허청에 따르면, ALD에 관한 특허출원은 1998년에 32건에 불과하던 것이 2000년에 88건으로 증가하기 시작하여 2004년에는 274건에 이르는 등, 최근 4~5년 사이에 폭발적으로 증가하고 있다.
주목할 점은 국내기업들에 의한 출원이 전체출원의 80% 이상을 차지할 만큼 국내기업에 의한 연구가 활발하고 기술수준도 국내기업이 외국기업에 비해 앞서 있다는 점이다.
특히, 국내기업에 의해 최근에 출원된 기술들은 공정온도를 더욱 낮추어 증착막의 순도가 높을 뿐만 아니라 대구경 웨이퍼 여러 장을 동시에 처리할 수 있는 것들이어서 반도체 제품의 수율을 획기적으로 높이고 생산단가를 낮추는데 큰 효과를 갖는 것으로 알려져 있다.
또한, 산업컨설팅 업체인 NanoMarkets社(http://www.nanomarkets.net)의 최근 보고서에 따르면, ALD 관련 기술은 박막 인쇄기술을 포함한 다른 박막기술과 함께 디스플레이장치, 광전지, 배터리, 각종 센서, 저장장치 등의 다양한 응용분야에 쉽게 활용될 수 있으며, 오는 2011년에는 이들 응용분야의 전세계 시장규모가 155억 달러에 이를 것으로 예상되고 있다.
따라서, 앞으로 ALD에서 앞선 기술력을 보유한 국내기업들이 반도체를 비롯한 다양한 응용분야에서 두각을 나타낼 것으로 전망된다.
특허청 개요
특허청은 특허와 실용 신안, 디자인(의장) 및 상표에 관한 사무와 이에 대한 심사, 심판 사무를 수행하는 산업통상자원부 소속 행정기관이다. 대전에 본부를 두고 있다. 조직은 기획조정관, 산업재산정책국, 정보기획국, 고객협력국, 상표디자인심사국, 기계금속건설심사국, 화학생명공학심사국, 전기전자심사국, 정보통신심사국으로 구성되어 있다. 소속기관으로 특허심판원과 특허청서울사무소, 국제지식재산연수원 등이 있다.
웹사이트: http://www.kipo.go.kr
연락처
특허청 기계금속건설심사본부 팀장 소현영 042-481-5526
특허청 정책홍보팀장 조국현 042) 481-5027 011-9404-5006