반도체공정 기술분야 특허 출원 급증

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특허청

2006-05-30 10:34

대전--(뉴스와이어)--특허청(청장 전상우)에 따르면, 최근 3년간의 반도체공정 기술분야에 대한 특허 출원을 분석한 결과, 이 분야의 특허 출원이 지속적으로 증가하고 있으며,

특히, ‘04년 6.6% 증가에 그쳤던 출원건수가 ’05년 내외국인 출원 각각 두 자리수 증가로 인해 전년대비 무려 22.9%나 급증한 것으로 분석되었다.

금번 분석은 반도체공정 기술을 IPC분류별로 5개공정(노광, 증착, 세정·CMP, 에칭, 확산·이온주입)으로 구분한 후, 이에 대한 최근 3년간의 출원 현황을 비교·조사한 것으로써,

’05년 반도체공정 기술분야 전체 출원의 35%를 점유하고 있는 노광분야는 ‘04년 18.9%로 감소했던 외국인 출원이 ’05년 54.7%로 급증함에 따라 전체 23.7% 증가한 것으로 나타났고,

증착분야의 경우, 회로 선폭이 100nm 이하인 나노급 반도체의 개발이 본격화되면서, 수 Å 단위의 극히 얇은 박막을 증착시키고자 하는 원자층증착기술(ALD, Atomic Layer Deposition) 등 다양한 증착기술이 개발됨에 따라 전년대비 44.8% 증가로 출원증가율이 가장 높게 나타났다.

에칭분야는 외국인 출원의 증가율이 주춤한 것에 비해, 내국인 출원은 ‘04년 29.5%, ’05년 23.6%로 2년 연속 가파른 증가세를 보여, 플라즈마에칭기술 등 에칭 관련 국내 기업의 기술 개발이 활발해지고 있음을 입증했으며,

세정·CMP 및 확산·이온주입분야의 경우, 타 공정분야에 비해 상대적으로 증가율이 저조한 것으로 나타났다.

특허청 개요
특허청은 특허와 실용 신안, 디자인(의장) 및 상표에 관한 사무와 이에 대한 심사, 심판 사무를 수행하는 산업통상자원부 소속 행정기관이다. 대전에 본부를 두고 있다. 조직은 기획조정관, 산업재산정책국, 정보기획국, 고객협력국, 상표디자인심사국, 기계금속건설심사국, 화학생명공학심사국, 전기전자심사국, 정보통신심사국으로 구성되어 있다. 소속기관으로 특허심판원과 특허청서울사무소, 국제지식재산연수원 등이 있다.

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