삼성전자, 40나노 이하 超미세공정 新소자(SONOS & TANOS) 개발

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2006-06-19 11:00

서울--(뉴스와이어)--반도체 기술혁신, 限界는 없다 !

삼성전자가 기존 한계로 여겨져 오던 40나노 이하 메모리 미세공정기술을 실현할 수 있는 새로운 新소자기술을 개발, 현재 6년 연속 이어 가고 있는 '반도체신성장론' 은 앞으로도 계속 실현될 전망이다.

삼성전자는『2006 VLSI 심포지엄』에서 4년 연속 최다 논문 채택의 위업을 달성하며 세계 최고의 반도체 기술력을 다시 한 번 입증했으며 超미세공정 新소자인 소노스(SONOS)와 타노스(TANOS)를 개발, 향후 메모리 超미세화 및 高집적화 달성의 발판을 마련 하였다.

삼성전자 황창규 사장은 지난 3월 대만에서 열린 삼성 모바일 솔루션 포럼에서 `반도체 신성장론`에 의한 테라급 플래시메모리 개발을 예고 하면서 메모리 회로 선폭(공정기술)의 미세화와 고집적화에 대한 밝은 전망을 내놓은 바 있다.

금번 VLSI 2006에서는 19편의 삼성전자 논문이 채택되었으며 이로서 삼성전자는 2003년 21건, 2004년 22편, 2005년 17건에 이어 4년 연속 최다 논문 선정 기업이 되었다.

삼성전자가 이번에 발표한 논문들은 최근 반도체 업계 주요 화두인 超미세 공정 및 超고용량 제품 구현의 한계를 돌파할 수 있는 차세대 핵심기술이다.

업계에서는 이제까지 기존 소자로는 셀間 간섭 현상 등으로 40나노 이하 超 미세 공정 개발에 한계가 있을 것으로 예견되어 왔으며 이를 극복하기 위한 방법으로 절연막질 데이터를 저장하는 전하 기억 소자 - 소노스 (SONOS, Si/MTO(Oxide)/Nitride/Oxide/Si) 와 관련된 연구가 활발하게 진행되고 있다.

① 삼성전자는 이러한 업계 움직임에서 한 발 더 나아가, 기존 2차원 구조의 전하 기억 소자(소노스, SONOS)를 2단으로 쌓은 3차원 구조의 소자를 개발하여 셀당 4개의 데이터를 저장할 수 있는 "4bit 二重 SONOS 기술"을 확보, 앞으로의 메모리 미세화 및 용량 한계 극복에 박차를 가하고 있다. 이번에 개발된 SONOS는 신공정 및 신물질 도입 없이도 원하는 특성을 획득하여 양산단계에서 타 경쟁사 對比 확실한 기술 우위를 점할 것으로 예상된다.

② 또한, 삼성전자는 기존의 SONOS 소자 막질 중 윗 부분의 실리콘(Si) 대신 탄탈(Ta)이라는 고유전 물질을 적용한 신소자인 타노스 (TANOS, Ta/AlO(Oxide)/Nitride/Oxide/Si) 개발을 통해 기존의 차세대 기억 소자인 SONOS 대비 쓰기/지우기 특성을 대폭 향상시키는 성과를 거두었다.

한편, 이번 VLSI 학회에서 삼성전자가 발표한 논문 중 25나노급 3차원 메모리 트랜지스터인 MBCFET (Multi Bridge Channel MOSFET) 관련 논문이 최우수 평가 논문으로 선정되어 삼성 기술력의 양적/질적 우수성을 동시에 공인 받게 되었다.

또한, 삼성전자는 3차원 구조 소자(FinFET)를 통해 동작 특성을 크게 개선하고, 소자 크기를 획기적으로 감소시킬 수 있는 플래시 기술연구 논문으로도 각광을 받았는데, 이 분야는 그 중요성을 인정받아 논문 발표를 위한 별도 세션(Advanced Flash Memory Session)이 신설되기도 하였다.[ 상기 분야 總 4건의 논문 中 3건이 삼성전자 논문이였음 ]

1981년 창설된 VLSI 학회는 매년 6월 1년간 세계 반도체 업계 및 학계에서 응모된 논문들 중 우수 논문을 선정/발표하는 반도체 분야 세계 최고 권위 학회 중 하나이다.

VLSI 학회는 IEDM (International Electron Device Meeting), ISSCC(International Solid State Circuits Conference) 등과 함께3대 반도체 학회로 꼽히고 있는데, 삼성전자는 VLSI 뿐 아니라 IEDM과 ISSCC 에서도 우수 논문을 지속 발표, 반도체 기술 선도자의 역할을 충실히 수행하고 있다.

향후 반도체 개발의 3대 과제라고 할 수 있는 "超미세화", "大용량화","高성능화" 는 삼성전자에 의해 그 해법이 하나하나 제시되고 있다.

이러한 기술 혁신 리더로서의 모습이야말로 삼성전자 반도체를 앞으로 더욱 강하게 만들어 갈 모멘텀이 될 것임이 확실해 보인다.

삼성전자 개요
삼성전자는 반도체, 통신, 디지털 미디어와 디지털 컨버전스 기술을 보유한 글로벌 리더다. 삼성전자는 디지털 어플라이언스 부문, 디지털 미디어 부문, LCD 부문, 반도체 부문, 통신 네트워크 부문 등 5개 부문으로 이뤄져 있다. 세계에서 가장 빠르게 성장하는 브랜드인 삼성전자는 스마트폰, 디지털 TV, 메모리 반도체, OLED, TFT-LCD 분야에서 세계 선두 주자다.

웹사이트: http://www.samsung.com/sec