KLA-Tencor, 최신 패턴 웨이퍼 검사 시스템 개발
65nm 미만의 설계, 경쟁적인 환경, 짧아진 제품 사용 주기, 첨단 프로세스 노드의 비용 상승으로 인해 경제적인 제조가 요구되는 실정이다. 이러한 경제적인 부담은 주기 축소, CoO 및 자본 관리에 더 큰 중점을 두게 되었다. 결과적으로 IC 제조 업체들은 수율 극대화 및 유지에 필요한 성능은 그대로 유지함과 동시에 장비에서 최대의 효과를 창출해야 한다. 검사 장비는 이러한 요구에 부합하기 위해 다양한 프로세스 레이어 범위에서 비용 및 성능 최적화된 결함을 모두 모니터링할 수 있어야 한다. Puma 91xx 시리즈는 빠른 검사속도, 뛰어난 결함 유형 포착에 있어서도 매우 뛰어나며, 유연한 아키텍처는 광범위한 애플리케이션과 메모리 및 로직 디바이스의 가격에 맞추어 구성할 수 있다.
Puma 91xx 시리즈는 속도, 감도 및 사용 편의 면에서 크게 개선되었다. 향상된 데이터 처리 속도로 검사 속도는 같은 감도의 Puma 9000보다 2배 가까이 늘었다. 추가 픽셀 조합은 광범위한 생산 모드 선택을 가능케 하여, 샘플링 빈도 증가 또는 감도 개선등을 통해 장비의 경제성을 증가시켰다. Puma 91xx 시리즈는 이전의 Puma 9000과 마찬가지로 KLA-Tencor의 독점적인 Streak™ 멀티 픽셀 센서 및 라인 스캔 기술을 통하여 고해상도 DF(Darkfield) 이미징 검사를 수행함으로써, AOD(acousto-optic device) 및 PMT(photo multiplier tube) 기술을 바탕으로 DF(Darkfield) 장비의 속도/감도 제한을 극복할 수 있었다.
장비 레시피를 만들고 조정하는 데 필요한 매개 변수 개수를 기존 알고리즘의 약 80%로 줄이는 KLA-Tencor의 새로운 FAST(Fast Adaptive Single Threshold) 알고리즘을 사용하면, 장비 레시피 설정이 매우 간단해진다. KLA-Tencor의 iDO™ (inline Defect Organizer™) 바이닝 솔루션은 좀 더 정확한 검사 분류를 통해 근본 원인을 보다 빠르게 파악한다. KLA-Tencor의 23xx/28xx BF(Brightfield) 검사기와 eS3x 전자선 검사기가 동일해지면 검사기 기능 최적화를 위한 플랫폼 간 레서피 공유가 가능해지고 검사 도구의 생산 통합이 가속화된다.
KLA-Tencor 웨이퍼 검사 사업부의 부사장 겸 책임자인 폴 마렐라(Paul Marella)는 "작년에 Puma 9000이 출시된 이후 고객들은 기술적 및 경제적 부담이 동시에 해결되었기 때문에 이 장비를 빠르게 채택해 왔다"며 "당사는 65nm 및 45nm 메모리와 로직 디바이스를 위한 보다 쉽고 빠르며, 광범위한 검사 애플리케이션을 제공하는 차세대 Puma 91xx 시리즈를 고객들에게 제공할 수 있게 된 것을 기쁘게 생각한다"고 소감을 밝혔다.
KLA 개요
KLA는 전자 산업 분야에서 혁신을 선도하는 최고의 장비와 서비스를 개발한다. KLA는 웨이퍼와 레티클, 집적 회로, 패키징, 인쇄회로 기판과 평판 디스플레이(FPD) 제조하기 위한 공정을 실현하는 솔루션과 첨단 공정 제어 역량을 제공한다. 물리학자, 엔지니어, 데이터 과학자, 문제 해결 전문가들로 구성된 사내 전문가 팀은 세계 각지의 일류 고객사와 긴밀히 협력해 세계를 발전시킬 솔루션을 설계한다. 더 자세한 정보는 kla.com에서 확인할 수 있다(KLAC-P).
웹사이트: http://www.kla-tencor.com/ko
연락처
페리엔월드와이드 박윤희 실장, 02-565-6625, 017-427-8279, 이메일 보내기
