고분해능 주사전자현미경 국산화 성공
과학기술부는 2005년부터 첨단연구분석장비 핵심 요소기술개발사업을 지원하고 있으며, 이번 개발된 장비는 동 사업에 참여하고 있는 한국표준과학연구원에서 이룩한 연구성과이다. 또한, 지난 12월에는 관련 기술은 중소기업에 이전했으며, 올해 5월에는 제품으로 출시될 예정이다.
이번에 개발한 전자현미경은 3.5나노미터 분해능을 가진 현미경으로 지금까지 전량 수입에 의존해 왔던 첨단연구분석장비이며, 수입장비에 비해 선명도, 밝기 등을 크게 개선하였다. 또한, 장비의 사용법은 물론 문제점 발생 시 그 해결방안을 담은 매뉴얼을 제작하여 사용자 편의를 극대화하였다.
기존 수입장비는 약 1억원 이상의 비용이 소요되는 반면, 이번에 개발한 장비는 가격을 절반으로 낮춤으로써 현재 국내 전자현미경 시장을 연간 300억원으로 막대한 수입대체효과를 가져올 것으로 전망된다. 또한, 중·고등학교 및 대학의 교육용으로도 보급이 가능해 우리나라 과학교육의 발전에도 크게 기여할 것으로 보인다.
이번 장비 국산화에 핵심적인 역할을 담당한 한국표준과학연구원 조양구 박사(첨단연구분석장비개발사업단장)는 “주사전자현미경 국산화로 동 장비의 응용제품인 전자선로광장비(e-beam lithography), 생물용 저진공 전자현미경(bio-Low Vacuum SEM), 반도체검출기장착 분석 현미경(Analytical SEM) 및 자성체관측이 가능한 스핀전자현미경(SEMPA) 등 많은 장비의 국산화가 가능할 것”이라고 말했다.
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