포스텍 포항가속기연구소, LIGA 공정 실습교육
△가속기 소개 및 이용방법 △LIGA 기술 개요 △반도체 공정 응용 △X-선 공정에 대한 이론부터 △응용장비 개요 및 이용법 △마이크로 구조물 설계 및 사진 시각 공정 △X-선 마스크 제작 △기판 제작 △전기도금 및 정밀금형 제작실습까지 전 공정 현장교육이 계획되어 있다.
방사광가속기에서 발생되는 강한 세기의 X-선을 이용하여 마이크로 구조물 및 정밀 소자, 나노 구조물 등을 가공하는 차세대 첨단기술을 ‘LIGA’ 라고 한다.
기계적 가공기술의 한계를 넘어 마이크로미터 또는 그 이하 크기의 구조물과 금형을 제작하고 반도체 공정을 접목하는 등 여러 응용 공정으로 복합 형상의 마이크로 구조물을 제작할 수 있는 기술이다.
통증 없이 체혈하거나 약품을 주사할 수 있는 초미세바늘과 고통 없이 몸속 구석구석을 들여다 볼 수 있는 X-선 광학에 응용 가능한 초정밀렌즈 등이 9C 빔라인의 LIGA 공정에 의해 제작된 바 있다.
방사광 마이크로머시닝의 활성화를 통해 마이크로 부품산업의 국가경쟁력을 획기적으로 높이고 마이크로 몰드 및 특수 정밀금형 제작 등 산업현장에서의 적극적인 활용과 응용기술 확대를 위해 현장 실무자를 대상으로 한 소수정예 실습교육을 마련한 것이다.
정밀 가공 장비의 발전, 새로운 공정 기술의 개발과 함께 초정밀 가공 기술에 대한 많은 연구가 이뤄지고 있어 앞으로도 연 3회 차기교육을 계속 실시할 예정이다.
웹사이트: http://pal.postech.ac.kr
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포스텍 포항가속기연구소 기획팀 054)279-1051,1050
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2009년 10월 12일 09:46