IFEZ, 에이원엔지니어링코리아와 2천만불 토지매매계약 체결
에이원엔지니어링코리아 유한회사는 반도체의 웨이퍼나 TFT-LCD 산업에서 사용되는 다양한 반응가스를 화학적으로 반응시켜 만들어낸 입자를 Glass 표면에 입혀 절연막 및 전도성 박막을 형성하는 증착기술을 활용한 차세대 CVD(화학기상증착기) 장비를 생산할 계획임.
이와 더불어, 차세대 CVD 장비의 증착기술을 응용한 Solar Cell 장비 개발을 준비하고 있으며, 이는 기존 고가의 규소원판(Si Wafer)이 아닌 대형 Glass 위에 박막을 입히는 화학증착 기술로서 원재료에 대한 비용절감 등으로 태양전지 산업에 파급효과가 클 것으로 사료됨.
또한, 에이원엔지니어링코리아 유한회사는 2010년까지 핵심부품의 90%이상을 국산화할 계획이며 이를 통해 국내 부품산업의 고용창출 등 파급효과가 클 것으로 사료됨. 현재 국내의 반도체 장비 산업은 수입 의존도가 64%에 달하며, 국산장비라 하더라도 내재되는 핵심부품은 대다수 외국부품이 차지하고 있음.
에이원엔지니어링코리아 유한회사의 박영길 공동대표는 세계 최대의 평판디스플레이 시장이 위치한 아시아 지역의 거점 확보에 가장 중요한 물류(항공, 항만 등) 인프라가 잘 갖춰진 인천경제자유구역이 최적지라고 판단하고 투자계약을 체결하였다고 밝힘.
<참고자료>
□ 사업배경
A-1 Machine사는 미국 샌프란시스코 산타클라라에 본사를 두고 반도체 및 TFT-LCD 생산용 장비(CVD)를 제조하는 회사로서 장비의 조립, 프레임, 판금 및 도금, 정밀가공 등의 공정을 거쳐 완제품을 항공운송 방법으로 납품하였음. 그러나 차세대 CVD 장비의 경우 무게가 30톤 이상으로서 항공운송이 불가능하게 되었으며, 또한 최종 수요자인 삼성전자에서 국내에 생산시설 건립을 적극 요청하였음. 이에, 세계 최대의 평판디스플레이 시장이 위치한 아시아 지역의 거점을 위하여 국내에 에이원엔지니어링코리아 유한회사를 2004년 5월에 설립하였음.
□ 개발 및 생산제품
1. TFD-LCD 생산용 CVD(화학기상증착기 : Chemical Vapor Deposition) 장비
TFT-LCD 생산 공정은 기판공정, 셀ㆍ모듈 조립공정, 검사의 3개 공정으로 구분되며 이중 기술적 난이도가 가장 높은 기판공정의 비중은 약77%임. 기판공정의 한 과정인 CVD 공정은 TFI-LCD 공정 전반에 걸쳐 자주 이용되며, CVD 장비는 전공정의 20.9%를 차지함. CVD(화학기상증착기)는 다양한 반응가스를 화학적으로 반응시켜 만들어낸 입자를 Glass 표면에 입혀 절연막 및 전도성 박막을 형성하는 공정의 장비를 말하며, 증착된 과정을 통해 형성된 박막은 크게 회로들 간의 전기적인 신호를 연결해 주는 금속막층과 내부 연결층을 전기적으로 분리하거나, 오염원으로부터 차단시켜주는 절연막층을 형성하는 장비임. 이와 관련된 핵심 기술은 박막증착기술, 진공처리 및 가스제어기술, 플라즈마 제어기술, 시스템 제어 및 구동기술 등이 있으며, 동사는 이에 대한 핵심 기술을 연구 개발할 예정임.
2. Solar Cell 장비
Solar Cell 장비는 태양광에너지를 직접 전기로 변환시키는 반도체 화합물 소자의 정밀 박막증착장비로서 증착공정에서 요구되는 기술은 실리콘 기판 기술, 실리콘 표면 플라즈마 처리기술, 실리콘 질화막 처리, 후면전계 형성기술유리 등이 있음. 태양전지의 핵심기술은 반도체의 웨이퍼나 TFT-LCD 산업에서 사용되는 증착기술(CVD)을 응용 적용하고 있어 유사한 증착장비 및 공정 적용을 응용 할 수 있는 분야임.
웹사이트: http://www.ifez.go.kr
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