키슬리, 4200-SCS용 C-V 측정 장비 개발
모델 4200-CVU 장비는 모델 4200-SCS의 슬롯에 삽입되는 모듈 형태로 제공되며, 10kHz ~ 10MHz의 주파수 범위에서 fF(femtoFarads)에서 nF(nanoFarads)까지 쉽고 빠르게 커패시턴스를 측정할 수 있도록 한다.
가장 최신형 고성능 회로를 이용해 개발된 모델 4200-CVU는 혁신적인 설계를 기반으로 한 8개 특허기술을 출원 중이다. 이 설계는 직관적인 포인트앤클릭(point-and-click) 셋업, 단순한 케이블링 및 빌트인 엘리먼트 모델들을 제공함으로써 사용자들이 추측을 하지 않아도 되며, 정확한 C-V 측정 결과를 얻을 수 있도록 한다. 또한 초보에서부터 숙련자까지 모든 사용자들이 전문가들처럼 C-V 테스트를 수행할 수 있다. 상세 정보는 회사 홈페이지 http://www.keithley.com/pr/078 참조.
모델 4200-CVU는 업계에서 가장 광범위한 테스트 라이브러리 세트를 포함하고 있어 테스트 효율을 대폭 향상시킬 수 있다. 키슬리의 모델 4200-LS-LC-12를 이용하면 더 높은 효율을 얻을 수 있다. 모델 4200-LS-LC-12는 특수 스위치 매트릭스 및 카드로, 싱글 프로버(prober) 터치다운 기능과 함께 강력하게 결합된 C-V/I-V 테스트를 수행할 수 있도록 한다. 선택 사항인 모델 4200-PROBER-KIT을 이용하면 가장 널리 쓰이는 프로버와 모델 4200-SCS를 쉽게 연결할 수 있다. 최종 결과물은 종합 C-V 테스트이며, I-V 테스트만큼이나 셋업 및 구동이 쉬운 것이 특징이다.
광범위한 애플리케이션 지원
4200-SCS 라인에 신제품을 추가함으로써 키슬리는 C-V 측정 분야의 선두위치를 확보하게 된 것은 물론, 프로버, 디바이스 유형, 프로세스 기술 및 펄스 I-V를 포함한 다양한 측정 기능을 지원하여 단일 반도체 테스트 장비를 이용하는 다양한 애플리케이션을 충족시킬 수 있게 되었다. 모델 4200-CVU 및 옵션 모듈은 통합 C-V/I-V/펄스를 제공하지 않거나 사용자 인터페이스 및 소프트웨어 라이브러리 지원이 제한적인 다른 특성화 시스템의 문제점들을 해결해 준다. 뿐만 아니라 유연하고 강력한 테스트 실행 엔진은 시스템이 I-V, C-V및 펄스 테스트를 동일한 테스트 시퀀스로 쉽게 결합할 수 있도록 해준다. 그러므로 모델 4200-SCS는 강력하게 통합된 하나의 특성화 솔루션으로써 다양한 전기적 테스트 툴을 대체할 수 있다. 그럼에도 불구하고 키슬리의 모델 4200-SCS는 다양한 써드파티 장비들을 이용해 C-V/I-V/펄스 및 기타 테스트 방법들을 계속해서 지원해 나갈 예정이다. 이러한 특징들을 바탕으로, 4200-SCS/CVU 솔루션은 다음과 같은 곳에 이상적이다.
· 반도체 기술 개발/프로세스 개발/신뢰성 연구소
· 소재 및 디바이스 연구소 및 컨소시엄
· 벤치 톱 DC 또는 펄스 장비가 요구되는 연구소
· 적은 면적에서 다중 사용/다중 장비가 요구되는 대부분의 반도체 연구소 및 사용자
강력한 소프트웨어
모델 4200-SCS는 업계의 반도체 특성 분석 시스템 중 가장 직관적인 윈도우 기반의 인터페이스(GUI)를 특징으로 하고 있다. 키슬리는 다년간 고객들과의 긴밀한 접촉을 통해 고객들의 의견을 제품 개발에 적극 반영했고, 이로써 새로운 모델 4200-CVU 하드웨어 및 소프트웨어 모듈도 사용이 매우 편리해졌다. (이러한 점은 양방향 테스트 환경 및 실행 엔진에 있어서 자연스러운 발전이다) 키슬리는 모델 4200-CVU 하드웨어 지원을 위해 광범위한 샘플 프로그램, 테스트 라이브러리, 바로 설치되자마자 동작할 수 있는 빌트인 파라미터 추출 사례로 구성된 세트를 제공한다. 8개의 소프트웨어 라이브러리는 가장 광범위한 C-V 테스트 및 분석을 제공한다. 여기에는 하이 및 로우 k 구조, MOSFET, BJT, 다이오드, 플래시 메모리, 광기전력(photovoltaic) 셀, III-V 화합물 디바이스 및 탄소 나노튜브(CNT) 디바이스를 위한 C-V, C-t 및 C-f 측정 및 분석 모든 표준 애플리케이션이 포함된다. 접합(junction), 핀대핀, 및 인터커넥트 커패시턴스 외에 분석 및 파라미터 추출 소프트웨어는 도핑(doping) 프로파일, TOX, 가동성 이온(mobile ion), 캐리어 수명(carrier lifetime)을 제공한다. 이러한 테스트는 다양한 선형 및 맞춤형 C-V 스윕(sweep)과 C vs 시간 및 C vs 주파수를 포함한다.
다른 특성화 시스템과는 달리 키슬리 C-V/I-V 분석 및 추출 프로그램은 문서화가 잘 된 개방 환경에서 동작함으로써 사용자들이 쉽게 수정 작업을 하고 자신들의 루틴을 맞춤화 할 수 있다. 키슬리 엔지니어들의 오래되고 깊은 애플리케이션 지식을 바탕으로 개발된 통합 샘플 프로젝트는 프로그램 개발 시간을 단축한다.
모델 4200-CVU는 또한 다양한 최신 진단 툴과 함께 제공되어 C-V 테스트 결과의 정확성을 보장해준다. 테스트 결과가 정확한지 아닌지 불확실하다면, 온스크린 "Confidence Check" 버튼을 클릭하거나 검증을 위한 테스트 셋업의 부분들을 격리하기 위해 실시간 프런트 패널을 이용할 수 있다.
모델 4200-SCS의 입증된 기능들은 최단 기간의 학습 곡선과 함께 최고의 사용자 경험을 제공한다. 이 제품은 반도체 연구소 관리자들이 디바이스 특성화 및 모델링과 관련한 생산성 및 효율을 향상시키고자 할 때 겪는 문제점들을 해결할 수 있다.
높은 쓰루풋 처리를 위한 설계
모델 4200-CVU의 우수한 측정 정확도, 속도 및 효율과 같은 특성은 대부분 모델 4200-SCS의 고속 디지털 측정 하드웨어와 강력한 하드웨어/소프트웨어 통합을 비롯해 키슬리의 저잡음 시스템 설계 원칙에 대한 고집에 힘입은 것이다. 이러한 특징들을 통해 모델 4200-CVU는 단일 측정을 설정하거나 단 한번의 클릭으로 미리 설정된 테스트 시퀀스를 구동하는 것과 같이 단순한 태스크이든지, 아니면 트리거링이나 플로팅 다중 C-V 스윕처럼 고난이도의 작업이든지 간에 사용자의 생산성을 대폭 향상시킬 수 있다. 이 시스템의 고속 디지털 아키텍처는 모델 4200-CVU가 어떠한 경쟁제품보다도 C-V 스윕을 실시간으로 빠르게 실행 및 플로팅 할 수 있다는 것을 의미한다.
기능이 다양한 테스트 환경
하나의 유연하고 완전히 통합된 테스트 환경에서 I-V/C-V/펄스를 테스트 하는 것 외에 모델 4200-SCS은 다른 몇 가지 옵션들을 제공한다. 이들 옵션에는 8개의 중/고전력 DC 소스측정장비(SMU), 듀얼 채널 펄스 및 파형 발생기 및 통합 디지털 오실로스코프 등이 포함된다. 모델 4200-CVU와 달리 이들 장비는 모두 모델 4200-SCS 장비의 슬롯에 플러그인 될 수 있으며, 강력한 키슬리 테스트 환경 인터랙티브(KTEI, 7.0 버전) 소프트웨어 환경에 의해 제어된다. 이들 포인트앤클릭 인터페이스는 테스트 셋업, 테스트 시퀀스 제어 및 데이터 분석을 능률적으로 처리한다. KTEI는 또한 다양한 외부 기기들을 제어하는데, 여기에는 거의 모든 프로버, 핫척(hot chuck) 및 텍스트 픽스처 뿐만 아니라 키슬리의 높은 무결성 스위치 매트릭스가 포함되며, 이들은 업계에서 가장 광범위한 연결 유연성을 제공한다.
장비의 구식화 방지
많은 장비 제조업체들이 서로 호환되지 않는 제품을 연속해서 내놓기 마련이다. 그리고 신제품의 출시는 종종 기존 제품의 단종을 의미하기도 한다. 이 때문에 고객들은 투자 손실을 입을 수도 있다. 그러나 키슬리는 기본적으로 모델 4200-SCS에 계속해서 하드웨어 및 소프트웨어 업그레이드가 가능하도록 노력하고 있기 때문에 최초의 모델 4200-SCS 도입 이후 모든 관련 소프트웨어 및 옵션 하드웨어와 함께 모델 4200-CVU 모듈을 갱신할 수 있다. 업그레이드 경로가 이처럼 매우 간단하기 때문에 새로운 파라메트릭 분석기를 거의 몇 년씩마다 새로 구입할 필요가 없으며, 디바이스 또는 소재 기술에서의 혁신성을 유지할 수 있다. 또한 시스템을 경제적으로 업그레이드 할 수 있어 업계의 테스트 요구사항에도 부합할 수 있으며, 모델 4200-SCS의 자본 투자는 경쟁적인 테스트 솔루션보다 훨씬 확대될 수 있다. 이와 함께 외부 하드웨어 및 테스트 프로그램 개발은 최소한으로 유지할 수 있다.
상세 정보 문의
모델 4200-CVU에 관한 자세한 정보는 웹사이트 http://www.keithley.com/pr/078 참조하시기 바랍니다. 사이트를 통해 DC, C-V 및 펄스 테스트가 요구되는 모든 반도체 연구소에 있어서 왜 모델 4200-SCS가 가장 다양한 기능을 가진 장비인지를 알 수 있을 것입니다.
키슬리 인스트루먼츠 한국지사 개요
60여년의 측정 전문 기술력을 자랑하는 키슬리 인스트루먼츠는 DC에서 RF(무선 주파수)에 이르기까지 고성능의 최첨단 전기 테스트 장비와 시스템 분야에서 업계 최고의 선도업체로 자리잡아 왔다. 키슬리는 생산 테스트, 공정 개발 및 연구 부문에서 업계의 특별한 요구 사항들을 충족시키기 위한 제품 개발에 앞장서고 있다. 키슬리 주요 고객은 첨단 소재 연구, 반도체 장비 및 웨이퍼 소자 분석, 전자 조립품이나 휴대용 무선 장치와 같은 완제품의 생산을 담당하는 전세계에 있는 연구원이나 엔지니어들이다. 키슬리는 자사의 정밀 측정 기술과 고객이 구현하고자 하는 어플리케이션에 대한 충분한 이해를 바탕으로 고객이 제품의 품질과 성능, 수율을 향상시킬 수 있도록 최선을 다하고 있다. 2010년 키슬리 인스트루먼츠는 Danaher의 테스트 및 측정 사업분야의 계열사중의 하나인 텍트로닉스에 합병되었다.
웹사이트: http://www.keithley.co.kr
연락처
페리엔 월드 와이드 박윤희 실장, 02-565-6625, 017-427-8279, 이메일 보내기
이 보도자료는 키슬리 인스트루먼츠 한국지사가(이) 작성해 뉴스와이어 서비스를 통해 배포한 뉴스입니다. 뉴스와이어는 편집 가이드라인을 준수합니다.
