KRISS, 영년직 연구원에 구자용 박사 선정
영년직 연구원제도는 우수 연구원에게 정년까지 안정적인 연구 활동을 보장하는 것으로 KRISS는 이 제도를 시행해 현재 3명의 영년직 연구원을 선정했으며, 이번에 추가로 구자용 박사를 선정했다.
구자용 박사는 반도체 소자의 고집적․고성능화를 앞당길 수 있는 초정밀측정 연구결과로 그동안 원인을 알지 못해 발생했던 반도체 소자의 수율저하문제를 해결함으로써 고성능 소자를 개발․생산하는 관련 반도체 업체의 산업경쟁력 강화에 크게 기여했다.
구 박사는 자체 기술로 개발한 주사관통 현미경(STM, Scanning Tunneling Microscope)을 이용해 1백조 분의 1기압의 초고진공 환경에서 실리콘 웨이퍼 위에 결합된 물분자 하나씩을 관찰하고 실리콘 원자의 개수와 비교하는 초정밀 측정을 통해 물분자가 실리콘 웨이퍼 위에서 자발적으로 분해되어 실리콘 원자들과 결합하는 과정과 결합 후의 원자구조를 밝혀냈다.
또한 슈퍼컴퓨터를 이용한 대규모의 정밀한 이론계산을 통해 이러한 생성과정을 입증했다.
앞으로 구박사는 실리콘 웨이퍼 내부에 주입하는 필수 불순물들의 개별 원자거동을 규명해 나노미터 수준의 크기를 가지는 고성능/고품질 반도체 소자의 공정개선을 위해 지속적인 연구를 수행할 계획이다.
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