반도체장비 국산화 촉진을 위한 표준화 박차
「반도체장비 표준화 5개년 계획」은 2015년 반도체장비 국산화율 50% 달성을 목표로 하는 정부 계획을 표준화 측면에서 체계적으로 지원하기 위한 것으로 장비 성능평가, 용어 및 안전 등 35종의 표준을 개발․보급을 목표로 하고 있으며 그중 10종은 국제표준으로 제안 될 예정이다.
특히, 반도체장비는 삼성전자, 하이닉스 등 국내 반도체 업체들의 요구사항이 서로 달라 이에 대한 표준화가 시급한 실정이다.
※ 삼성전자는 세계반도체장비재료협회(SEMI)의 SEMI-S2에 대한 적합성 평가서와 유럽연합의 CE-Mark, 한국산업안전공단의 S-Mark 등 제3자 인증기관에서의 안전인증을 받고 설비를 납품하도록 하고 있으며, 반면 하이닉스는 비상정지버튼(EMO Button) 등 12개의 자체 요구사항에 대하여 환경안전 관련 조직에서 관리를 하고 있다.
특히, 이번 워크숍에서는 삼성전자(김현석 과장), 하이닉스(임금묵 차장)에서 각각 자사의 반도체장비 안전기준 현황을 발표하고, TÜV라인란드코리아(심덕섭 본부장)에서 해외의 반도체장비 안전규제 동향, 한국산업안전공단(정재종 소장)에서 반도체장비 안전인증제도(S-Mark) 운영 현황에 대해서 발표를 하며, 지난해 산업계의 의견을 반영하여 마련된 반도체장비 안전 지침(안)에 대하여 한국안전학회 최기흥 교수의 발표와 함께 산업계 전문가의 의견을 폭넓게 수렴할 계획이다.
기술표준원은 이번 워크숍을 통해서 반도체장비 표준화에 대한 공감대를 강화하는 한편 안전표시 등 쉬운 항목부터 점차적으로 통일하여 국내 개발 반도체장비의 표준화를 완성시킴으로써 국산 반도체장비의 국제 경쟁력을 높이겠다고 밝혔다.
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연락처
지식경제부 기계건설표준과 김익수 과장, 박재훈 연구관(509-7293)
