일본진공공업회, 한국표준과학연구원 방문
일본진공공업회는 1985년 설립되었으며 현재 일본 내 진공기기 및 설비 등을 생산·판매하는 관련 기업 135개사가 회원으로 등록돼 활동하고 있다. 일본진공공업회는 진공교육연수 실시 및 관련분야 시장조사, 기술규격, 전시회 개최 등 일본의 진공 산업 육성 및 발전을 위해 적극적으로 노력하고 있다.
KRISS를 방문한 일본 신코 세이키사 국제마케팅부 타카다 히로키씨는 “그동안 부품의 코팅방법 및 장비에 많은 관심을 가지고 있었다.”며 “다양한 증착, 평가 장치를 보유한 KRISS의 시스템을 본받아 펌프 평가 장비 실험실 구축과 국제규격에 맞는 펌프 평가 시스템 개발에 활용할 것”이라고 말했다.
특히, 이번 방문에서는 진공펌프 평가기술 및 실험실 구축 등에 대해 자세히 살펴보는 기회로 가졌다. 반도체 제조공정에서 발생하는 진공펌프 운전 중 성능저하나 돌발중지 현상 등은 관련 공정의 신뢰성 저하로 이어진다. 하지만 공정 투입 전 펌프의 사전 징후를 포착함에 따라 공정 과정 중 발생할 수 있는 돌발 상황을 사전에 방지할 수 있어 비용과 시간을 절약할 뿐만 아니라 효율성 향상에도 크게 기여했다.
이러한 문제를 해결하기 위해 KRISS는 국내 반도체 업계뿐만 아니라 영국, 프랑스, 일본, 독일 등 세계 각국의 관련 분야 업체에 지속적인 기술자문을 실시하고 있다. KRISS가 보유하고 있는 진공펌프 특성평가 기술 및 이를 이용한 실험실에서의 측정결과는 세계 최고 수준이다.
진공센터장 홍승수 박사는 “진공산업은 신기술 개발의 밑거름이 되는 기술이며 특히, 반도체 및 디스플레이 산업 등은 우리나라 주력 산업의 근간이 되는 기술”이라며 “앞으로 진공 핵심부품 국산화 및 기술경쟁력 확보를 위해 더욱 노력할 것”이라고 말했다.
한국표준과학연구원 개요
국가측정표준 정점이며 가장 앞서가는 측정을 연구하는 대덕연구단지내의 출연연구기관입니다.
웹사이트: http://www.kriss.re.kr
연락처
한국표준과학연구원 진공센터
홍승수 박사
042-868-5122
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2012년 5월 3일 09:29