노벨러스, 22나노 구리 전기도금용 SABRE® EXCEL™ 출시

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2009-11-04 10:16

서울--(뉴스와이어)--노벨러스(NASDAQ: NVLS)는22나노 및 이후 세대 기술 노드 에서 업계 최고의 fill과 결함 빈도 성능을 제공할 수 있는 발전된 구리 전기도금 설비인 SABRE Excel를 발표했다. SABRE Excel은 이미 전세계적으로 80% 이상의 구리배선 소자 생산에 사용되고 있는 검증된SABRE를 기반으로 개발되었다. SABRE Excel 본체는 새로운 하드웨어, 소프트웨어 및 공정 설비의 메인 프레임으로의 통신 향상 뿐만 아니라 노벨러스가 특허를 받은 IRISCell 기술이 탑재된 새로운 증착 모쥴 (deposition module)을 갖추고 있다. 추가적으로, 새롭고 혁신적인 기능을 활용할 수 있도록 SABRE Excel용 발전된 도금 공정이 개발되었다.

새로운 기능은 22나노 세대 기술 노드로 구리 전기도금을 스케일링 하는 것과 관련된 주요 문제점들을 해결한다. 진보된 소자 구조에서 소자 신뢰성 문제를 해결하기 위해, 반도체 업계는 매우 얇은 PVD 씨드층 합금을 사용하는 추세이다. 보다 두꺼운 PVD 씨드 층은 구리 기공을 유발하는 반면, 더 얇은 씨드 층은 씨드 저항을 증가시키고, 전기화학증착 (electrochemical deposition, ECD)의 초기 단계에서 안정된 구조fill 을 이루기 위해 필요한 균일한 전류밀도를 유지하는 것이 어렵게 한다. 노벨러스의 IRISCell 기술은 증착 공정 중에 동적인 전류조절을 가능하게 하는 특허 받은 field shaping elements를 사용해 이런 문제점들을 없앤다. 얇은 PVD 씨드도 또한 구리 막에서의 균일할 핵형성(nucleation)에 문제점이 있다. 이런 문제점을 해결하기 위해, 멀티웨이브 엔트리 (Multiwave Entry)라고 불리는 SABRE Excel의 새로운 도금공정 은 도급 증착의 초기 단계에서 전압 프로파일 (volt profile)을 수천 분의1초 단위로 조절할 수 있다.

얇은 씨드의 문제점을 해결하기 위한 하드웨어의 발전과 함께, SABRE Excel 플랫폼은 22나노 세대에서 요구하는 결함과 수율 목표치를 달성하기 위해 많은 새롭고 혁신적인 기능을 선보인다.“치명적”인 결함이 생겨날 가능성도 자사 소유권이 있는 부식이 잘 안 되는 전해질을 사용해 크게 감소되었다. 또한 웨이퍼당 칩수도 공정의 에지 익스클루전 (edge exclusion)을 1mm 정도로 줄여 사용 가능한 다이 (die)면적을 증가시킴으로써 향상되었다.

“우리는 SABRE Excel시스템이 발전된 기술 세대의 구리 전기화학증착(ECD) 공정에서 새로운 벤치마크로 자리매김할 것을 확신합니다”라고 노벨러스 Electrofill 사업부의 부사장 겸 총괄 담당인 세샤 바라자라잔 (Sesha Varadarajan)은 말하며 “ 새로운IRISCell 과 Multiwave entry 기술 개발 이후, 몇몇 업계 선도 제조업체들로부터 금년 4사분기를 시작으로 설비를 선적하라는 주문을 받고 있습니다”라고 덧붙였다.

노벨러스 SABRE소개

발전된 대량 생산 어플리케이션을 위한, 노벨러스의 구리 전기화학증착 하드웨어, 프로세스와 화학공정은 업계 최대 생산성을 내면서 업계 가장 최신의 소자구조에 상향식(bottoms-up) 기공 없이 필링을 한다. 전세계적으로10장의 구리 웨이퍼 중 8장은 노벨러스 SABRE Electrofill® 장비을 사용해 제조된다.

노벨러스 회사소개

노벨러스 시스템(Nasdaq:NVLS)은 반도체 업계에 최첨단 공정 설비를 제공하는 글로벌 선도 기업이다. 노벨러스의 제품은 믿을 수 있는 생산성과 혁신적 기술을 고객에게 제공하고 있다. S&P 500 기업이며 캘리포니아주 산호세에 본사를 두고 전세계에 지사를 운영하고 있다. 보다 많은 정보는 www.novellus.com에서 찾을 수 있다.

노벨러스시스템 개요
Novellus Systems(NASDAQ: NVLS)은 세계적인 반도체 부품 기업이다

웹사이트: http://www.novellus.com