노벨러스, 32나노 이하 리소그래픽 패터닝이 가능한 Ashable hardmask(AHM) PECVD 필름 개발

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2009-12-09 10:47

서울--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템(나스닥: NVLS)은 현재 업계에서 사용되고 있는 일반적인 비결정질 탄소박막에 비하여 약 25% 이상 식각비가 우수한 Ashable hardmask(AHM)을 개발했다. 높은 선택비과 투명성을 띈(high selective and transparent, HST) AHM 필름군은 노벨러스가 특허를 받은 edge bevel removal(EBR) 기술과 함께, 다이(die) 수율을 약 7%까지 향상시킬 수 있다.

32나노 이하의 장비 설계에서는 로직과 메모 장비 모두의 높은 종횡비(aspect ratio, AR) 패터닝을 필요로 한다. 발전된 공정에서는, 플라즈마 화학증착(PECVD)으로 만들어진 비결정질 탄소박막은 기존의 감광액 보다 높은 식각 선택비와 뛰어난 기계적 특성을 지닌다. 게다가 이런 성질의 필름은 패턴의 무너짐(pattern collapse)과 라인 휨(line bending)같은 문제 없이 감광액에서 기판까지 정확한 패터닝이 가능하다. 비정질 탄소박막은 더블 패터닝 구조, 고밀도 패터닝에 사용되며 또한 가격경쟁력까지 있다.

그림1 A)는 550도에서 증착된 전형적인 비결정질 탄소박막과 노벨러스의 HST AHM 박막의 노멀라이즈된(normalized) 식각 선택비를 비교해 보여준다. 선택비를 올리기 위해 증착온도를 올리는 방법이 사용되지만 그에 따라서 박막의 투명도가 떨어지는 단점을 초래한다. 불투명한 박막은 포토얼라인(Photo align)하기가 더 어렵다. 노벨러스의 AHM 박막은 투명도에 손상을 입히지 않고 높은 종횡비 패터닝에서 요구하는 선택비를 유지할 수 있게 한다. 또한 그림1 A)는 기존의 비결정질 탄소박막과 노벨러스의 HST AHM 필름의 대표적인 식각 선택비 성능을 임계선폭 균일도 (Critical Dimension uniformity, CDU) 지도로 보여준다. 노벨러스 필름의 높은 선택비와 낮은 침식 비율은 높은 종횡비(AR) 구조 (그림1 B와 1 C)에서 세밀한 패터닝을 가능하게 하고 수율 향상에 결정적인 역할을 하는 웨이퍼 내의 CDU 성능을 나타낸다.

웨이퍼 외곽의 AHM 두께는 다이(die) 수율에 큰 영향을 주며 전체 AHM 두께에서 실리콘 표면까지 좁은 변이대역이 필요하다. (즉 완벽하게 AHM 막이 제거 되야 한다.)

노벨러스의 VECTOR™ PECVD플랫폼에 통합된 EBR 성능은 1mm의 변이대역 내에서 완벽하게 AHM 막을 제거할 수 있다. 날카로운 변이에서 외곽 다이는 웨이퍼 외곽 2mm (그림2)내에서 훌륭한 임계선폭 균일도 조절을 위해 필요한 AHM 두께를 필요로 한다.

EBR 장치는 증착장비에 통합되어 있기 때문에 베벨끝(bevel edge) 세정장비가 필요 없다. 그리고 AHM 막 제거는 증착 챔버 밖에서 진행되기 때문에 다른 장치 내에서 외곽을 조절해야 하는 기술과는 달리 보다 나은 공정과 파티클 조절이 가능하다

다이 수율을 향상시키는 것 외에도, 노벨러스의 HST AHM은 대량 생산 체제 하에서 넓은 범위의 공정 윈도우를 제공한다. 기존의 비결정질 탄소막 필름은 고온에서 증착되며 빠른 비율로 수분이 흡수되는 경향이 있다. 그러나 다층순차증착방식(Multi-Station Sequential Deposition, MSSD)을 사용하는 노벨러스 VECTOR PEDCVD플랫폼은 수분의 침투를 막는 독자적인 공정을 사용하여 기밀특성(hermeticity)을 향상 시킨다.

그림3은 기존의 고온 탄소막 필름과 노벨러스의 HST AHM 필름의 기밀특성 반응을 나타내고 있다.

“노벨러스의 HST AHM 필름은 32나노 이하 공정에서 필요로 하는 고 밀도, 고 종횡비 패터닝요구치를 만족시킵니다”라고 노벨러스 PECD 사업부 케빈 제닝스 (Kevin Jennings)부사장이 말하며 “생산성이 증명된 VECTOR 플랫폼과 더불어 노벨러스의 HST AHM 솔루션은 향상된 광학필름을 낮은 가격으로 대량 생산을 할 수 있도록 합니다”라고 덧붙였다.

노벨러스의 광학필름에 관한 보다 많은 정보는www.NovellusTechNews.com/Thin-Barriers.aspx 에서 확인할 수 있다.

노벨러스의 PECVD기술 소개

Hardmask와 더블패터닝 적용하기 위해, 노벨러스는 VECTOR PECVD 플랫폼용의 AHM 비결정질 탄소 필름을 제공한다. 노벨러스의 광학 필름은 식각 선택비를 기존의 필름보다 25%까지 향상시키며 VECTOR 시스템의 차별화된 edge bevel removal(EBR)과 더불어 패터닝 후 다이(die) 수율을 7% 까지 향상시킬 수 있다.

노벨러스 회사소개

노벨러스 시스템(Nasdaq:NVLS)은 반도체 업계에 최첨단 공정 설비를 제공하는 글로벌 선도 기업이다. 노벨러스의 제품은 믿을 수 있는 생산성과 혁신적 기술을 고객에게 제공하고 있다. S&P 500 기업이며 캘리포니아주 산호세에 본사를 두고 전세계에 지사를 운영하고 있다. 보다 많은 정보는 www.novellus.com에서 찾을 수 있다.

노벨러스시스템 개요
Novellus Systems(NASDAQ: NVLS)은 세계적인 반도체 부품 기업이다

웹사이트: http://www.novellus.com