대만의 LED 업체, 엑시트론의 4인치 CCH CRIUS 유기금속화학증착 MOCVD 툴 이용해 LED 에피웨이퍼 생산 확대
세미레드의 사장 겸 COO 인 청 트란(Chuong Tran)은 “우리는 리액터 간극조절(Dynamic Reactor Height Adjustment) 기능이 장착된 AIXTRON CRIUS 시스템을 설치하여 당사의 독점적인 MVP 웨이퍼 기술의 장점을 충분히 활용, 생산성을 높일 것이다” 라며 “특히 우리의 생산 계획에 바로 대응하는 백업 서비스를 제공해준 것에 감사한다”고 전했다.
한편 엑시트론의 중화권 담당 부사장 크리스탄 정(Christian Geng)은 “이 시스템은 세미레드가 보유한 Planetary Reactor 시스템 라인을 보완하는 최초의 Close Coupled Showerhead Reactor이기 때문에 향후의 4인치 웨이퍼 프로젝트를 고대하고 있다”고 덧붙였다.
엑시트론은 독일의 반도체 제조용 증착 시스템 장비회사로서 화합물, 실리콘, 유기 반도체, 탄소 나노 기반의 전자 및 광전자용 부품 생산에 필요한 기술 솔루션을 제공한다. 이러한 기술로 만들어진 웨이퍼 및 부품들은 디스플레이, 신호, 조명, 광통신, 무선, 광저장장치, 컴퓨터를 비롯해 다양한 첨단 기기에 적용된다. 이 회사의 CCS 개념은 다중 웨이퍼용 유기화학증착시스템의 반응기에 장착되는 기술이다.
엑시트론 개요
엑시트론은 독일의 반도체 제조용 증착 시스템 장비회사로서 화합물, 실리콘, 유기 반도체, 탄소 나노 기반의 전자 및 광전자용 부품 생산에 필요한 기술 솔루션을 제공한다. 이러한 기술로 만들어진 웨이퍼 및 부품들은 디스플레이, 신호, 조명, 광통신, 무선, 광저장장치, 컴퓨터를 비롯해 다양한 첨단 기기에 적용된다. 이 회사의 CCS 개념은 다중 웨이퍼용 유기화학증착시스템의 반응기에 장착되는 기술이다.
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