1월 KRISS인상 김정형 박사 선정
김정형 박사는 플라즈마 진공공정 중 식각장비에 사용되는 공정플라즈마의 전자밀도의 절대값을 측정할 수 있는 기술을 세계최초로 개발하는데 성공하였다.
이를 통해 쌍둥이장비일지라도 같은 공정조건에서 다른 공정결과를 보이는 현상을 파악할 수 있으며(chamber matching) 장비의 공정 수행 중 공정이상변화를 실시간으로 파악할 수 있어 생산 손실을 줄이고 수익성 향상에 크게 기여할 수 있다.
또한 현재 반도체, 디스플레이 등의 일부 분야에서만 활용되었던 플라즈마가 첨단 소재 등 더욱 다양한 분야에서 활용될 수 있을 것으로 전망된다.
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