노벨러스, 1000번째 VECTOR PECVD 설비 출하

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2010-02-18 10:27

서울--(뉴스와이어)--노벨러스 시스템 (나스닥- NVLS)은 싱가포르에 위치한 글로벌파운드리즈(GLOBALFOUNDRIES)의 공장 Fab7에 1000번째 VECTOR 플라즈마화학증착(PECVD) 시스템을 입고했다고 발표했다. 첨단 반도체 제조 기술의 선도적인 공급업체인 글로벌파운드리즈는 최근 차터드 세미컨덕터 매뉴팩쳐링(Chartered Semiconductor Manufacturing)과의 통합을 완료했고, Fab7에서 65나노 기술 노드 및 그 이상의 기술 노드에서의 대량생산을 위해 300mm VECTOR Express™를 사용할 예정이다.

2000년 7월에 처음 출시된 VECTOR 시스템은 광범위한 유전체 애플리케이션을 증착시키는데 사용되는 장비이다. 전 공정(FEOL)에서 VECTOR는 게이트 스페이서 (gate spacer) 및 라이너 (liners), 인장 실리콘용 고 응력 필름 (high stress film for straining silicon), 비결정성 탄소 (amorphous carbon) 와 반사 방지 층, 하드마스크 필름 및 식각 정지 층의 증착에 사용된다. 후 공정(BEOL)에서는 금속 내부 및 층간 유전체, 구리 확산 방지, 저 전도성 상수 캡 및 마무리 보호막 작업에 사용된다. 최근 VECTOR는 TSV(through-silicone-via) 패키징 기술에 사용되는 초저 유전상수 (ULK) 필름과 유전체층과 같이 새롭게 부상하는 유전체 애플리케이션에 적용된다.

반도체 제조 시장에서 VECTOR의 높은 인지도는 투자대비 높은 생산성, 낮은 설치비용과 운용비 및 좁은 시스템 공간, 웨이퍼 간의 높은 재현성, 100나노 이하의 입자사이즈에서 나타나는 한 자리 수의 결함발생률에서 기인하다.

글로벌파운드리즈의 Fab7 최고 책임자인 피터 베논 (Peter Benyon)은 “노벨러스 VECTOR 플랫폼은 전/후 공정 유전체 애플리케이션을 위해 65나노에서의 대량생산과 Fab7의 첨단 45/40나노 기술노드에서 사용되고 있습니다”라고 말하며, “우리는 고객이 혁신적인 디자인을 신속하게 시장에 출시하도록 돕기 위해 노벨러스와의 협력 관계를 지속해 비용대비 효율적이고 기술적으로 앞선 솔루션을 개발할 것입니다”라고 덧붙였다.

노벨러스의 PECVD 사업부 케빈 제닝스 (Kevin Jennings) 부사장은 “우리는 차터드가 새로운 글로벌파운드리즈의 일부가 되면서 자사의 1000번째 설비를 구매하는 기념비적인 일에 대해 매우 기쁘게 생각합니다” 고 말하며 “차터드는 2004년에 처음으로 노벨러스의 VECTOR 시스템을 구입했으며 그 후 오랫동안 노벨러스의 주요한 고객이었습니다. 우리는 글로벌파운드리즈와도 똑같이 긴밀한 관계를 발전시켜나가길 희망합니다”라고 강조했다.

노벨러스 회사소개

노벨러스 시스템 (Nasdaq:NVLS)은 반도체 업계에 최첨단 공정 설비를 제공하는 글로벌 선도 기업이다. 노벨러스의 제품은 믿을 수 있는 생산성을 바탕으로 혁신적인 기술을 고객에게 제공하고 있다. S&P 500 기업이며 캘리포니아주 산호세를 본사로 두고 전세계에 지사를 운영하고 있다. 보다 많은 정보는 www.novellus.com에서 찾을 수 있다.

노벨러스시스템 개요
Novellus Systems(NASDAQ: NVLS)은 세계적인 반도체 부품 기업이다

웹사이트: http://www.novellus.com