Entegris, 새로운 LED 웨이퍼용 SHIPPER로 제조 강화…2011세미콘 코리아에 출품
- 선도적인 Ultrapak 제품의 핵심 기술을 이용한 얇은 웨이퍼 shipper
새로 선보이는 Ultrapak 100mm 웨이퍼 shipper는 손상과 오염을 줄여 LED 제조 및 다른 응용 제조에서 사용되는 얇은 기판을 더욱 잘 보호할 수 있도록 설계되었습니다. 이 신제품은 2011년 1월 26일 서울에서 개최되는 2011세미콘 코리아 무역 박람회의 당사 부스에서 다른 LED 솔루션과 함께 전시됩니다.
현재 LED 업계에서는 주로 반도체에 사용하기 위해 고안된 shipper를 사용 중입니다. 이러한 실리콘 웨이퍼 shipper는 얇은 실리콘과 복합 반도체용으로 설계된 것이 아니기 때문에 웨이퍼에 손상 및 파손, 회전으로 인한 크로스 슬로팅(Cross-slotting)이나 입자 발생을 초래할 수도 있습니다. 새로운 Ultrapak 100mm 웨이퍼 shipper는 Entegris의 Ultrapak 웨이퍼 운반 제품군의 검증된 기술과 설계를 활용하여 얇은 실리콘과 복합 반도체 제조업체가 다음을 포함한 위험을 줄일 수 있도록 여러 가지 디자인적 특징을 지니고 있습니다.
· 웨이퍼 회전을 제한하는 웨이퍼의 크래들 스트랩 지지대(상부 및 하부 쿠션) 로 입자 오염을 줄이고 웨이퍼를 카세트에 고정하여 파손으로부터 보호
· 확장된 상부 쿠션과 하부 쿠션을 통해 기판 둘레 지지를 개선하여 운송 중 충격으로 인한 압박 수준을 줄임
· 깨끗한 운반 환경을 제공하고 기체 손실을 줄여 웨이퍼 표면의 연무 또는 변화를 방지하는 초고순도 Ultrapure 폴리프로필렌 재료
· 편리한 핸들링을 위한 카셋트의 로봇 픽업 플랜지
· 중앙 노치 트랙 정렬과 “H” 바를 통해 수직 및 수평 웨이퍼 운반 모두의 경우에서 정확한 장비 상호 운용성을 보장
· 한 번에 8개의 shipper를 고정하여 최대 200개의 웨이퍼를 보호할 수 있는 2차 패키징 설계
Ultrapak 100 mm shipper는 Entegris가 설계한 2차 패키징을 사용한 150µm 두께의 게르마늄 웨이퍼로 ISTA-2A 테스트를 성공적으로 통과했습니다. 또한 300μm, 200μm, 150μm 웨이퍼 웨이퍼를 사용하여 다른 수많은 기능 테스트를 통과했습니다. 자세한 정보가 필요하면 Entegis (www.entegris.com)로 문의해 주시기 바랍니다.
ENTEGRIS 소개
Entegris는 반도체와 기타 하이테크 산업의 처리와 제조에 사용되는 핵심 재료를 정화, 보호, 운송하는 다양한 제품을 제공합니다. Entegris는 ISO 9001 인증을 받았으며 미국, 중국, 프랑스, 독일, 이스라엘, 일본, 말레이시아, 싱가폴, 대한민국, 타이완에 제조, 고객 서비스 또는 연구 시설을 갖추고 있습니다.
Entegris, Inc. 개요
Entegris는 반도체와 기타 하이테크 산업의 처리와 제조에 사용되는 핵심 재료를 정화, 보호, 운송하는 다양한 제품을 제공한다.
웹사이트: http://www.entegris.com
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