Entegris, IBM과의 기술 협력 발표
- 선진 반도체 공정을 위한 수율 향상 기술 중심의 공동 개발 협약
이번 협력은 반도체 공정 중 Photolithography 공정에서 Imaging 소재를 Dispense 하고 Filtering하는 과정에 사용되어지는 Entegris의 차세대 필터와 Dispense 시스템의 Test data를 생성하는데 중점을 둔다.
반도체 업계에서 이 응용분야에 쓰이는 Fillter 및 Dispense 시스템을 모두 공급하는 유일한 기업인 Entegris는 뉴욕 East Fishkill에 거점을 둔 IBM 기술팀과 함께 제조 양산 수율에 부정적 영향을 미칠 수 있는 불순물(예: 입자, 기포)을 제어하는 새로운 기술을 개발할 계획이다.
신소재 기술, 프로세스 케미칼 및 새로운 포토 리소그라피 공정기술들의 이용은 더 작고 강력하면서 소비전력이 적은 차세대 반도체 소자를 제조 개발하는 반도체 산업과정에 있어 새로운 도전들임을 보여준다.
Entegris의 CEO인 Gideon Argov 사장은 “이번 협약은 우리가 32나노미터 미만 노드 반도체 제작 공정에서 효과적인 여과 기술이 양산에 미치는 긍정적 효과를 입증하고자 지금까지 참여했던 다른 산업 컨소시움 활동들을 보완할 것입니다. 반도체 업계의 기술 선도 회사 중 하나인 IBM과 Partner가 된 것을 기쁘게 생각합니다.” 라고 말했다.
ENTEGRIS 소개
Entegris는 반도체 및 여러 하이테크 산업의 처리 공정에 사용되어지는 핵심소재를 정화, 보호 및 이송하는 광범위한 제품들을 공급한다. Entegris는 ISO 9001 인증을 취득했으며 미국, 중국, 프랑스, 독일, 이스라엘, 일본, 말레이시아, 싱가포르, 한국 및 대만에 생산, 고객 서비스 및 연구 시설을 두고 있습니다. 자세한 정보는 www.entegris.com을 참조하기 바란다.
Entegris, Inc. 개요
Entegris는 반도체와 기타 하이테크 산업의 처리와 제조에 사용되는 핵심 재료를 정화, 보호, 운송하는 다양한 제품을 제공한다.
웹사이트: http://www.entegris.com
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