SPP Process Technology Systems-호주 Griffith 대학, 실리콘 기술의 탄화규소(SiC) 공동개발협약 체결

- 이 3년 협약은LED, 전력, MEMS 기기용 실행가능한 반도체 재료로서 SiC-On-Si의 상용화를 목표로 삼고 있다

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2011-05-30 16:06

산호세 캘리포니아주--(뉴스와이어)--플라즈마 에칭 및 증착, 반도체 관련 산업을 위한 열처리 장비의 선두 제조업체인 SPP Process Technology Systems (SPTS)와 호주의 Griffith 대학은 실리콘(Si) 기술에 탄화규소(SiC)의 상용화를 목표로 하는 공동개발협약(JDA)을 체결했다고 발표했다. Si 기질 상의 SiC는 급속도로 성장하는 발광 다이오드(LED)과 마이크로 전자기계 시스템(MEMS), 전력 시장의 광범위한 애플리케이션에서 사용된다.

SiC는 LED 제조에 사용하는GaN 필름 성장에 중요한 기질이다. SiC의 증가된 복사 경도와 기계적 강도, 열 성질 역시 이 물질을 혹독한 환경에서 MEMS 기기에서 사용하는 실리콘을 대체하기에 적합한 물질로 만든다. 또한 SiC의 전기적 성질이 일반 실리콘에 비해 크게 우수하기 때문에 고전력 및 고주파수용 애플리케이션용 반도체 기기 생산에 SiC가 사용된다. Griffith 대학의 Queensland 마이크로 및 나노기술 센터 (QMNC), Queensland Microtechnology Facility (QMF)의 연구팀이 개발한 기술은 수정 같은 SiC을 저비용 실리콘 웨이퍼로 직접 자라게 할 수 있는 능력을 입증하였다. JDA을 통해, SPTS는 이 기술의 상용화에 필요한 열처리와 장비 전문지식을 개발할 것이다.

Si 기기 상의 SiC에 요구되는 세 가지 핵심 기술은 SiC 증착과 에칭, 산화이다. QMNC 는 이러한 모든 영역으로 진출하기 위해 상용화에 중점을 둔 연구를 실시하고 있다. “JDA는 장비 연구개발 활동에 이 SiC 증착 공정 기술을 이전하고 최대 300mm 직경의 Si 웨이퍼의 배치 가공을 통해 대량 생산으로 가는 가교 역할을 제공한다. SPTS는 열 처리 기술에서의 매우 큰 강점을 지닌 기업으로 매우 매력적인 파트너이다”라고 QMNC의 운영 이사인 Alan Iacopi가 말했다. “이JDA는 우리의 SiC 연구 노력을 특히, 이미 전 세계 시장에 진출해 있는 SPTS와의 파트너십을 통해 상용화하는데 중요한 단계이다”라고 QMNC의 프로젝트 리더겸 부이사인 Sima Dimitrijev가 동의하였다.

“MEMS와 LED, 전력 시장에 자본장비를 제공하는 시장 리더로서 SPTS는 계속적으로 첨단 개발 기회를 찾고 있다. 우리는 기술에서 SiC를 상용화하기 위해Griffith 대학의 우수 연구가와 함께 일하게 된 기회를 가져 매우 기쁘게 생각한다”라고 SPTS의 사장 겸 CEO인 William Johnson이 말했다. “재료 처리 신기술을 개발, 전달하기 위해 제조 관련 지식을 이러한 협동과 협조 노력에 제공하는 일은 중요한 사업전략이다. 이 JDA가 우리의 제품 및 서비스 포트폴리오를 더 향상시키고 우리의 고객 기반을 넓히는 데 도움을 줄 것이다.”

SPP Process Technology Systems 관련 정보

SPP Process Technology Systems는 Surface Technology Systems의 합병과 Aviza Technology의 인수자산을 위한 견인차로2009년 10월 설립되었다. 이 회사는 Sumitomo Precision Products Co., Ltd.,의 전액출자 자회사이며 세계 반도체 산업과 관련 시장을 위한 앞선 반도체 자본장비와 공정 기술을 설계, 제조, 판매, 지원한다. 이들 제품은R&D와 데이터 저장, MEMS, 나노 기술, 고급 3-D 패키징, LED, 전력통합 통신 회로를 포함하여 다양한 시장 부문에서 사용된다. SPTS에 관한 더 자세한 내용은 www.spp-pts.com에서 확인할 수 있다.

QMNC 와QMF 관련 정보

Queensland Micro- and Nanotechnology Centre는 청정 및 지식 시스템 개발에 통합된 마이크로 및 나노 기술 이슈에 초점을 둔 Griffith 대학 기반 과학 엔지니어링 연구센터이다. 이 센터에서는 물리학과 화학, 응용 수학, 엔지니어링 부문의 재료 개발과 센서, 마이크로 전자공학 전문지식과 응집물질 기본이론을 갖춘 연구원이 함께 연구개발에 매진하고 있다. QMNC내 Queensland Microtechnology Facility는 Si 기술상의 SiC 의 상용화에 초점을 맞추고 있다. 퀸스랜드 주정부와 호주 국립제조설비가 설립한 이 연구 센터는 대규모 실리콘 웨이퍼 제조 처리 능력을 갖추고 있으며 기계 및 반도체 기기용 Si 재료 상의 SiC를 연구개발하고 있다. 더 자세한 내용은 www.griffith.edu.au/qmnc에서 확인할 수 있다.

SPP Process Technology Systems 개요
SPP Process Technology Systems는 Surface Technology Systems의 합병과 Aviza Technology의 인수자산을 위한 견인차로 2009년 10월 설립되었다. 이 회사는 Sumitomo Precision Products Co., Ltd.,의 전액출자 자회사이며 세계 반도체 산업과 관련 시장을 위한 앞선 반도체 자본장비와 공정 기술을 설계, 제조, 판매, 지원한다. 이들 제품은 R&D와 데이터 저장, MEMS, 나노 기술, 고급 3-D 패키징, LED, 전력통합 통신 회로를 포함하여 다양한 시장 부문에서 사용된다.

웹사이트: http://www.spp-pts.com