Advanced Energy, SEMICON KOREA 2012에서 Paramount VHF 전원 전달 시스템 소개
- 에칭 및 증착 과정에서 박막 전력 변환 솔루션을 선도하며 업계 표준으로 자리잡아
“시장을 선도하는 AE의 전력 변환 솔루션은 에칭 및 증착 공정 기술에서 우수한 품질 및 성능을 보여 주고 있다. 모든 차세대 반도체 공정에서 Paramount 제품 라인은 VHF에 이르기까지 놀랄만한 커버리지를 보여주고 있다. 또한 한국 시장에서 고출력 HPG 라인은 평판 디스플레이 고객을 지원하고 있다. 본 지역의 놀랄만한 성장은 중요한 기술 분야에서 고객들에게 많은 도움이 될 것이다.”라고 AE 박막 사업부 유발 바서만 사장은 말했다.
Advanced Energy는 SEMICON 한국 전시회에서 업계 최고의 제품과 차세대 기술 지원을 포함한 광범위한 라인을 쇼케이스할 예정이다:
· 새로운 Paramount VHF를 포함한 AE Paramount RF 전력 전달 플랫폼은 유연한 디지털 아키텍처, 펄스 및 펄스 동기화, 주파수 튜닝, 고도로 발달된 아크 관리 시스템을 특징으로 하고 있다;
· AE의 한국에서 조립된 HPG RF 전원 전달 솔루션은 플라즈마 애플리케이션에서 요구하는 고출력 RF 사항을 지원하고 있습니다. 평면 디스플레이 분야 및 태양 전지 패널 시장에서 입증된, HPG RF 솔루션은 고급 측정 및 진단 기능을 통해 높은 수준의 전원 제어 기능을 제공한다;
· 고도로 안정된 플라즈마 및 부드러운 전력 전달을 가능하게 하는 새로운 tune-while-pulsing Pure Pulsed Plasma ™ 기능을 통합한 Navigator II 디지털 매칭 네트워크 Navigator II는 자가 진단 및 첨단 계측을 통해 실시간 플라즈마 특징을 확장하였으며, 디지털 센서 기술을 통해 정확도를 향상시켰다;
· Ascent® 및 Pinnacle® Plus DC 전원 공급장치는 최대 60kW까지 전력 운영이 가능하며, 다양한 종류의 박막 애플리케이션을 지원한다;
· Sekidenko 광섬유 온도계 (OFT)는 고속 및 다양한 채널로 온도를 측정하며, 다중 프로세스와 기판을 통해 방사율 측정과 제어를 한다;
· Xstream® 원격 플라즈마 소스 및 챔버 클린용 Active Matching Network™.
SEMICON Korea는 LED Korea와 함께, 2월 7일부터 9일까지 서울 코엑스 전시장에서 개최될 예정이다. AE 주요 제품에 대한 자세한 내용은 본 회사 부스 2610을 방문하거나 http://www.advanced-energy.com/en/sck2012.html 으로 접속하여 주십시오.
Advanced Energy에 대하여
Advanced Energy (나스닥GM: AEIS)는 박막 제조 및 태양광 발전에서 혁신적인 전력 제어기술을 갖고 있는 세계적인 선도업체입니다. $SAJAN$ 1981년에 설립된 Advanced Energy는 콜로라도주 포트 콜린스에 본사를 두고 있으며, 전세계 각지에 우수한 서비스를 제공하고 있습니다. 더 많은 정보는 www.advanced-energy.com을 방문하십시오.
웹사이트: http://www.advanced-energy.com
연락처
캐시 가와 카미, 기업 커뮤니케이션 담당 이사
Advanced Energy Industries, Inc.
+1. 970.407.6732
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