키슬리, S530 파라미터 테스트 시스템 기능 확장

- 48핀 풀 켈빈 스위칭 • 링 오실레이터, 펄싱, 저전압 DMM 옵션

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2012-03-23 10:53

서울--(뉴스와이어)--세계적인 첨단 전기적인 테스트 계측기 및 시스템 제조업체인 키슬리 인스트루먼트(지사장 김해랑, Keithley Instruments, Inc.)는 오늘, 고속 생산 파라미터 테스트를 위한 반도체 업계에서 가장 경제적인 솔루션인 자사의 S530 파라미터 테스트 시스템의 기능을 지속적으로 확대해 나간다고 밝혔다. 최신 버전의 키슬리 테스트 환경 소프트웨어(KTE V5.4)를 통해 지원됨에 따라 이제 S530을 펄스 발생, 주파수 측정, 저전압 측정을 위해 새로 통합된 옵션과 함께 48핀 풀 켈빈(Kelvin) 스위칭에 사용하도록 구성할 수 있게 되었다. 이처럼 새롭게 향상된 기능을 통해 S530 시스템에서는 경제적인 단일 고속 테스트 솔루션으로 훨씬 더 광범위한 생산 파라미터 테스트 애플리케이션을 처리할 수 있게 되었다.

48핀 풀 켈빈 스위칭 구성

S530 저전류 시스템에서는 고성능 스위치 매트릭스를 통해 계측기와 테스트 핀 간의 신호 방향을 지정하여 피코암페어 미만의 측정 해상도와 저전류 보호 기능(프로브 핀까지)을 제공한다. 이 시스템의 가장 돋보이는 최신 향상 기능으로는 48핀 풀 켈빈(4와이어) 스위칭 구성을 지원하여 이전에 비해 사용할 수 있는 풀 켈빈 핀 수가 두 배로 늘어났다는 점이다. S530은 시스템의 최대 핀 수를 두 배로 늘리는 동시에 풀 켈빈 스위칭 및 케이블링과 관련된 신호 무결성을 유지함으로써 정밀한 고속 측정 기능과 향상된 시스템 구성 유연성을 결합하여 미래에도 풀 테스트 적용 범위가 유지될 수 있도록 한다.

링 오실레이터 측정 기능 옵션

새로운 고속 고해상도오실레이터 옵션을 사용하면 넓은 주파수 측정 범위에서 링 오실레이터를 측정할 수 있다. 이 새로운 시스템 옵션은 초당 최대 400메가샘플의 샘플 속도를 바탕으로 약 10kHz ~ 20MHz의 측정 결과를 제공한다. 파라미터 테스트 시스템의 주파수 측정 기능은 전체 공정 제어 모니터링 테스트 구조에 링 오실레이터를 통합하는 반도체 팹의 수가 날로 늘어남에 따라 갈수록 중요해지고 있다.

펄스 발생 기능 옵션

플래시 같은 임베디드 메모리가 디자인에 통합되는 IC가 늘어남에 따라 공정 제어 모니터링 루틴에 메모리 구조 및 측정 기능을 추가하는 반도체 팹도 갈수록 증가하고 있다. 이러한 디바이스를 테스트하려면 사용자 정의 전압 펄스를 소싱하여 메모리 셀을 프로그래밍하고 소거한 다음 디바이스의 정밀 DC 측정을 수행해야 한다. 이러한 요구 사항을 해결하기 위해 S530은 현재 커패시턴스-전압(C-V) 계측기 카드를 호스팅하는 것과 동일한 서브시스템 섀시를 사용하여 2, 4 또는 6개 채널의 펄스 발생 기능을 구성에 통합하므로 광범위한 디바이스 테스팅 파형을 발생시키고 시스템의 유연성을 확장할 수 있다.

시스템 DMM 옵션

공정 제어 모니터링의 일부로 반데포(van der Pauw) 및 금속 구조를 테스트하려면 저전압 측정, 높은 측정 해상도, 뛰어난 반복 가능성을 두루 갖춰야 한다. S530 시스템은 이러한 애플리케이션을 위해 이제 저전압 측정에 최적화된 7-1/2디지트 저잡음 디지털 멀티미터를 옵션으로 제공한다. 또한 최저(100mV) 범위에서 10nV의 해상도와 다음 최저(1V) 범위에서 100nV의 해상도를 제공하는 것은 물론, 7ppm의 DC 전압 반복 가능성을 갖추고 있다.

저전류 또는 고전압 시스템 선택

S530 시스템은 서로 다른 두 가지 버전으로 제공된다. S530 저전류 시스템은 임계값 미만 누설, 게이트 누설 같은 특성을 측정하도록 개발되었다. S530 고전압 시스템에는 모든 시스템 핀으로 20mA에 1,000V(최대 20W)까지 소싱할 수 있는 소스측정장치(SMU)가 통합되어 있다. 이 버전은 GaN, SiC 및 Si LDMOS 전력 디바이스에 요구되는 까다로운 파괴 및 누설 테스트에 최적화되어 있다. 새로운 48핀 켈빈 기능은 저전류 시스템에만 제공되지만 새로 선보이는 모든 측정 옵션은 두 시스템에서 모두 사용이 가능하다.

상세 정보

키슬리의 파라미터 테스트 제품에 대한 상세 정보는 http://www.keithley.com/products/semiconductor/parametrictestsys/ 참조.

키슬리 인스트루먼츠 회사소개

60여년의 측정 전문 기술력을 자랑하는 키슬리 인스트루먼츠는 DC에서 RF(무선 주파수)에 이르기까지 고성능의 최첨단 전기 테스트 장비와 시스템 분야에서 업계 최고의 선도업체로 자리잡아 왔다. 키슬리는 생산 테스트, 공정 개발 및 연구 부문에서 업계의 특별한 요구 사항들을 충족시키기 위한 제품 개발에 앞장서고 있다. 키슬리 주요 고객은 첨단 소재 연구, 반도체 장비 및 웨이퍼 소자 분석, 전자 조립품이나 휴대용 무선 장치와 같은 완제품의 생산을 담당하는 전세계에 있는 연구원이나 엔지니어들이다. 키슬리는 자사의 정밀 측정 기술과 고객이 구현하고자 하는 어플리케이션에 대한 충분한 이해를 바탕으로 고객이 제품의 품질과 성능, 수율을 향상시킬 수 있도록 최선을 다하고 있다. 2010년 키슬리 인스트루먼츠는 Danaher의 테스트 및 측정 사업분야의 계열사중의 하나인 텍트로닉스에 합병되었다.

키슬리 인스트루먼츠 한국지사 개요
60여년의 측정 전문 기술력을 자랑하는 키슬리 인스트루먼츠는 DC에서 RF(무선 주파수)에 이르기까지 고성능의 최첨단 전기 테스트 장비와 시스템 분야에서 업계 최고의 선도업체로 자리잡아 왔다. 키슬리는 생산 테스트, 공정 개발 및 연구 부문에서 업계의 특별한 요구 사항들을 충족시키기 위한 제품 개발에 앞장서고 있다. 키슬리 주요 고객은 첨단 소재 연구, 반도체 장비 및 웨이퍼 소자 분석, 전자 조립품이나 휴대용 무선 장치와 같은 완제품의 생산을 담당하는 전세계에 있는 연구원이나 엔지니어들이다. 키슬리는 자사의 정밀 측정 기술과 고객이 구현하고자 하는 어플리케이션에 대한 충분한 이해를 바탕으로 고객이 제품의 품질과 성능, 수율을 향상시킬 수 있도록 최선을 다하고 있다. 2010년 키슬리 인스트루먼츠는 Danaher의 테스트 및 측정 사업분야의 계열사중의 하나인 텍트로닉스에 합병되었다.

웹사이트: http://www.keithley.co.kr