TCZ, FPD용 고성능 LTPS(저온 폴리실리콘) 장비 TCZ 900X 발표
삼성전자 김치우 상무는 “디스플레이 시장에서 가격과 품질은 제조업체에게 있어 전부와 같다. 이 기술은 디스플레이의 성능을 향상시키는 것과 동시에 생산력을 증가시켜 FPD 산업을 촉진시키게 될 것”이라고 밝혔다.
TCZ 900X는 기존의 ELA(Excimer Laser Annealing)와 SLS(Sequential Lateral Solidification, 순차적 측면 고상화)를 능가하는 결정화 기술을 제공함으로써 디스플레이 업체에 다음과 같은 많은 이익을 가져다 준다.
▷ 폴리 실리콘 코팅에 직접 구동장치를 통합하여 패널 강도를 증가시키고, 패널 가격을 절감
▷ 낮은 한계전압을 갖는 더 작은 크기의 TFT 개폐기로 고해상도 지원 및 낮은 전력 소비 실현
▷ TCZ 900X는 AMLCD(액티브매트릭스 LCD)와 SOG(System-on-Glass), 차세대 OLED 디스플레이를 지원함으로써 장비 비용 절감과 생산 지식 증대
▷ 패널의 전체를(730mm의 넓이까지) 얇고 넓은 고강도 빔에 일괄처리하여 신속한 프로세스 처리 및 균일한 결정화 가능
▷ 2차원 평면 기하학(대형 수직 돌출이 없는)을 이용, 게이트 산화막 스케일링을 가능하게 하여 패널 제작비용 절감
TCZ는 TDX (Thin-beam Directional X’tallization) 처리를 최초로 상용화하여 휴대성 폴리실리콘을 놀라운 속도로 생산 가능하게 한다. TCZ 900X는 중국, 한국, 일본, 대만 등지의 TCZ의 발넓은 네트워크를 통해 제공하게 된다.
TCZ의 CEO인 브라이언 클리니는 “LTPS 디스플레이 제조사는 폴리실리콘의 비용 절감과 높은 생산력을 모두 갖게 될 것”이라며, “TCZ 900X는 싸이머와 칼자이스 SMT와 같이 시장을 선도하는 회사가 합칠 경우 얼마나 큰 힘을 가져다 주는지를 입증하는 사례라 할 수 있다. 두 회사로 하여금 미래에 SOG 및 OLED 생산에 새로운 기술적 입지를 다지게 되었다”고 덧붙였다.
TCZ 900X의 핵심은 6kHz, 900W의 엑시머 레이저로 초정밀 빔 성형 렌즈가 달려있다. 이를 통해 고속 스캐닝이 가능하므로 시스템은 제4세대 730 x 920 mm의 패널 전체를 단번에 처리할 수 있게 한다.
제품 구매
TCZ-900X 알파 장비는 2005년 4분기부터 고객 평가가 시작되고, 일반 판매는 2006년 중반 정도에 가능하게 된다. 더 자세한 기술적인 정보는 웹사이트(www.tcz.com) 에서 볼 수 있다.
<TCZ>
TCZ는 싸이머(60% 지분)와 칼자이스 SMT(40% 지분)의 합작 벤처 회사이며, 미국 캘리포니아주 샌디에고에 소재하고 있다. TCZ는 평면 패널 제조의 생산성과 비용 절감, 기술 향상을 위해 최선을 다하는 회사이다.
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