ADVANCED ENERGY, PARAMOUNT® 2 MHZ 중주파 전력 전달 시스템을 SEMICON® KOREA 2013에서 소개
- 앞서가는 박막 전력변환 솔루션으로 에칭과 증착 공정에서 우수한 플라즈마 관리 제공
2MHz 중주파를 추가하여 Advanced Energy(AE) Paramount RF 전력 전달시스템 세트를 완성하는 이 제품은 PECVD와 유전 에칭 및 도체 에칭 응용 제품에 대한 업계의 까다로운 요건을 충족한다. 다른 Paramount 장비와 동기화 하는 내장 기능으로 다주파에 걸친 전력 공급 통합과 운영을 단순화 하는 동시에 선택 기능과 위상 동기 및 섬세한 아크 관리 등과 같은 고급펄스 기능도 갖추었다. 반도체 설비 제조업체는 이 제품을 통해 정확히 RF를 제어하여 22nm 이하 분야에서 놀라운 성과를 거둘 수 있다.
AE Thin Films 사장 Yuval Wasserman은 “우리는 반도체는 물론, 고급 재료 개발 및 새로운 디바이스 구조와 같은 다른 박막공정 응용제품에서도 포괄적인 Paramount 제품 플랫폼이 에칭 및 증착 공정에 더욱 확립 되기를 기대합니다. 공동 제어와 측정 등의 고급 기능으로, 맞춤화나 복잡한 프로토콜 없이도 다주파 공정을 통합하고 쉽게 최적화 할 수 있습니다. 게다가 Paramount의 고급 펄스기술을 본사의 Navigator II 정합 회로 튜닝과 결합하면 펄스능력과 함께 뛰어난 플라즈마 제어를 구현 할 수 있습니다”라고 말했다.
Advanced Energy는 SEMICON Korea 전시회에서 업계 최고의 제품과 차세대 기술의 세계적인 지원을 포함한 광범위한 라인을 전시할 예정이다. 전시 예정인 제품은 다음과 같다.
· 신형 Paramount MF 제품 등 AE의 Paramount RF 전력 전달 플랫폼
· 튜닝과 펄스 동시 작동기능을 통합하여 매우 안정적인 플라즈마 및 순조로운 전력 전달을 구현하는 Navigator II 디지털정합회로
· 고속 다채널 웨이퍼 온도 모니터링 및 제어를 구현하는 Sekidenko 광섬유온도계(OFT)
· 챔버 클린용 Active Matching Network™가 있는 Xstream®원격 플라즈마 소스
· Ascent® 및 Pinnacle® Plus DC 전원 공급 장치는 최대 60kW까지 전력 운영이 가능하며, 다양한 종류의 박막 응용제품을 지원합니다.
· AE는 최근에 금속 및 반응성 박막 스퍼터링과 아크 바이어스 솔루션을 위한 Solvix DC 라인 과 펄스 DC 전력 공급장치를 획득했습니다.
SEMICON Korea는 LED Korea와 함께 1월 30일부터 2월 1일 서울 코엑스에서 개최된다. AE의 제품에 관한 자세한 내용은 A홀 2520번 부스를 방문하거나 회사 이벤트 홈페이지 (http://www.advanced-energy.com/en/sck2013.html) 를 참고해 주기 바란다.
Advanced Energy에 대하여
Advanced Energy는 박막 플라즈마 제조 공정 및 태양광 에너지발전에 이용되는 안정적 전력 변환 솔루션에서 세계를 선도하는 기업입니다. 1981년에 설립된 Advanced Energy는 미국 콜로라도주 포트 콜린스에 본사를 두고 있으며, 전세계 각지에 우수한 서비스를 제공하고 있습니다. 더 많은 정보는 www.advanced-energy.com 을 방문하십시오.
웹사이트: http://www.advanced-energy.com
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Peter Gillespie
Advanced Energy Industries, Inc.
+1.408.574.2534
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