플라즈마 기술 활용 반도체 공정 소프트웨어 국산화 성공
K-Speed는 플라즈마를 사용하는 반도체 식각 및 증착공정을 시뮬레이션하는 소프트웨어로 경원테크는 핵융합(연), 표준(연), 전북대, 부산대 등과 산학연협력 연구를 통해 개발에 성공하였으며, 최근 삼성전자 반도체연구소와 성능평가를 완료하고 소프트웨어 공급계약을 체결하게 되었다.
* 반도체 공정 중 식각(박막이 형성된 표면을 깎아 불필요한 부분을 제거하여 회로 패턴이 드러나도록 하는 과정) 및 증착(실리콘 기판위에 얇은 막을 입히는 과정)공정을 사전에 시뮬레이션하여 실제 공정 결과를 예측할 수 있는 프로그램
K-Speed 개발 성공으로 반도체 공정해석 기술의 본격적인 국산화가 가능하게 되어, 외국에 의존하고 있는 핵심기술의 한계를 극복할 수 있을 것으로 기대된다.
K-Speed는 GPU 기반의 병렬화 성공을 통해 기존의 단일 CPU 기반 제품대비 100배 이상의 획기적인 계산시간 단축에 성공하였으며,
* GPU 기반의 병렬화 성공 : 기존 하나의 중앙처리장치(CPU) 기반 계산 방식을 그래픽처리방식(GPU) 컴퓨팅을 통해 동시에 여러개 활용 병렬화 성공
기존 제품이 실제 반도체 공정에서 사용되는 복합가스가 아닌 단일가스만을 이용한 플라즈마를 해석하는데 반해 K-Speed는 실제 공정에 사용되는 복합가스의 반응을 정확하게 연산하는 것으로 확인되었다.
K-Speed는 더 빠르고 정확한 새로운 반도체 제조 공정개발과 반도체 구조개발 등의 신기술 개발 등에 활용될 수 있을 것으로 기대되며 반도체 산업 소프트웨어 국산화를 통해 반도체 공정에서 발생할 수 있는 기술적 난제 해결을 위한 기반기술 확보와 외국 소프트웨어 사용으로 인한 국내 제조사 공정기술의 해외 유출을 방지하여 국내 반도체 산업의 글로벌 경쟁력 확보에도 기여 할 것으로 예상된다.
또한 K-Speed 개발 성공은 정부 출연(연)의 기초연구과정에서 얻은 파생기술과 학계의 기초연구 역량을 바탕으로 중소기업 기술 지원 노력을 통해 산업화에 성공한 산학연 협력의 성과이다.
이번 성공은 핵융합(연)의 ‘플라즈마 물성데이터 측정기술’ 등의 기술이전 및 산학연 협력을 통한 산업화 지원과 함께 외국 소프트웨어의 단순 수입 및 배급역할에 안주하지 않고, 국내 기술력으로 세계 최고 수준의 소프트웨어 개발을 추진해 온 경원테크의 자기혁신 노력이 기반이 되었다.
K-Speed는 향후 다수의 국내외 기업으로의 판매가 예상되며 경원테크는 K-Speed 판매로 200억원 이상의 매출을 목표로 하고 있다.
서광원 경원테크 대표는 “출연(연)과 지속적인 연구협력으로 국내외 반도체 공정해석 소프트웨어 시장에 진출할 수 있게 되었다”며 “향후 반도체 공정에 사용하는 다양한 복합가스 모듈, 플라즈마 화학반응 모듈 등이 장착되는 시뮬레이터 기술을 핵융합(연)에서 이전받아 추가적인 현장 맞춤형 반도체 공정 소프트웨어 개발을 통해 국산화 기술 확보 및 세계 시장 진출 등에 노력할 것”이라고 밝혔다.
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미래창조과학부
핵융합지원팀
권선미
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2022년 12월 15일 18:00