Entegris, Imec과 3D 웨이퍼 취급 및 배송에 관해 협력하기로

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2013-09-11 10:20

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빌레리카 매사추세츠--(뉴스와이어)--최첨단의 제조환경을 요구하는 오염 제어 및 재료 처리 기술 분야의 선두기업인 Entegris는 세계 최고의 나노일렉트로닉스 연구 센터인 imec과 3D 집적 회로의 도입을 확대하고 발전을 앞당기기 위해 협력할 것이라고 발표했다.

하나의 장치에 여러 반도체 다이를 적층할 수 있게 해 주는 프로세스인 3D IC 기술은, 필요 공간과 전력 사용을 줄이는 동시에 차세대 집적 회로의 기능과 성능 향상을 목표로 한다. 전력 소비가 적은 소형 IC가 들어가는 스마트폰, 태블릿과 같은 차세대 휴대용 전자기기의 핵심 기술이다.

3D IC 제조 공정의 핵심 단계 중 하나는 반도체 웨이퍼가 캐리어 기판에 접착되어 있을 때 그것을 얇게 만드는 것이다. 얇은 3D IC 웨이퍼를 처리하는 과정에서 웨이퍼 파손, 가장자리 손상이 일어나거나 조각이 생길 수 있는데, 다양한 종류의 웨이퍼 처리를 용이하게 하는 완전 자동화된 표준 솔루션을 통해, 상당한 비용 절감을 이룰 뿐 아니라 3D IC 기술의 발전과 확장을 향한 길을 열 수 있게 되었다. Imec과 Entegris는 3D 생산 공정 중 발생할 수 있는 파손의 위험과 다른 손상 없이 여러 종류의 3D IC 웨이퍼를 이동하고 처리할 수 있게 하는 해법을 찾는 데 전력을 다하고 있다.

Entegris의 사장이자 CEO인 Bertrand Loy는 “반도체 업계에서 기술 혁신을 주도하고 있는 핵심 연구센터인 imec team과 함께 일할 수 있게 되어 무척 기쁩니다.”라며 “현재의 협업은 3D 웨이퍼 생산 시 얇은 웨이퍼 처리를 완전 자동화 함으로써 오염 및 파손을 줄일 수 있는 웨이퍼 처리 지식 및 기술을 강화하는 것을 목표로 합니다. 이 프로젝트는 캐리어 기판에 일시적으로 3D 웨이퍼를 접착시키는 물질 분배 시 버블과 결함 형성을 감소시키는 디스펜스 및 여과법을 개발했던 imec과의 이전 작업을 토대로 합니다.” 고 말했다.

imec 3D 통합 연구 프로그램의 책임자인 Eric Beyne는 “Entegris와의 협업은 다양한 종류의 3D IC 웨이퍼 처리의 완전 자동화 솔루션 개발을 목표로 하고 있습니다. 이러한 일반적인 솔루션은 개발 비용을 상당 부분 절감할 수 있는데 이는 확장 및 제조 가능한 3D IC 기술 실현의 핵심입니다.”라고 전했다.

Entegris의 여과 및 웨이퍼 처리 솔루션의 포괄적인 제품군에 대한 정보는2013년 9월 4일부터 6일까지 대만에서 열리는 SEMICON전시회Entegris 부스 (부스번호176)에서 확인할 수 있다. 자세한 정보는 Entegris의 이메일 주소인 marketing@entegris.com 로 연락하면 된다. 페이스북을 통해 대만 SEMICON 전시회에 참여하시면 전시회 시작부터 끝날 때까지 최신 소식을 받을 수 있다.

imec의 3D 통합 연구에 대한 보다 자세한 정보는 2013년 9월 4일 대만 타이베이, 타이베이 세계 무역 센터의 Nangang 전시홀에서 열리는SEMICON 대만 공동 조직, SEMI 공동 제휴의 IMEC TECHNOLOGY FORUM 대만 에디션을 참조하면 된다. 자세한 정보는 다음 웹사이트를 참조. www.itf2013taiwan.be

imec 소개

Imec은 세계 최고의 나노일렉트로닉스 연구를 수행하고 있다. Imec은 정보통신기술, 의료 및 에너지 분야의 글로벌 협력에서 비롯한 혁신적인 영향력과 함께 과학적 지식을 활용하고 있다. Imec은 산업 관련 기술 솔루션을 제공한다. 첨단 기술이라는 특별한 환경에서 최고의 글로벌 인재들이 지속 가능한 사회의 더 나은 삶을 위한 초석을 제공하기 위해 최선을 다하고 있다. Imec 벨기에 루뱅에 본사를 두고 있으며, 벨기에, 네덜란드, 대만, 미국, 중국, 인도 그리고 일본에 지사를 두고 있다. 2,000명이 넘는 직원들 중에는 650명 이상의 산업 거주자와 객원 연구원도 포함되어 있다. 2012년 imec의 총 수익(P&L)은 3억 2천만 유로로 집계되었다. imec에 관한 자세한 정보는 at www.imec.be를 참조기 바란다.

Entegris, Inc. 개요
Entegris는 반도체와 기타 하이테크 산업의 처리와 제조에 사용되는 핵심 재료를 정화, 보호, 운송하는 다양한 제품을 제공한다.

웹사이트: http://www.entegris.com