ENTEGRIS, 새로운 ‘비접촉식’ 200mm 수평 웨이퍼 SHIPPER 판매 개시
- 박층 웨이퍼를 보호해 반도체 제조업체의 생산성과 수율을 증가시키는 솔루션
Entegris의 부사장이자 Microenvironments팀 총 책임자인 Bill Shaner는 “반도체 업계는 더 작고 성능이 더 높으며 더 저렴한 디바이스를 제조하기 위해 박층 및 초박층 웨이퍼 쪽으로 눈길을 돌리고 있습니다”라고 말했다. 그는 “이 새로운 shipping 제품은 소자 제조업체가 제조 공정을 개발함에 따라 수율 개선과 생산성 증가를 돕기 위해 오래전부터 Entegris에서 개발한 솔루션 중 최신 제품입니다”라고 덧붙였다.
더 얇아진 신세대 200mm 웨이퍼는 SOC, MEMS, LED 및 전력 반도체를 위해 광범위한 첨단 칩 디자인을 생산하는 데 사용되고 있다. Entegris shipper의 새로운 ‘비접촉식’ 디자인은 웨이퍼 표면과의 접촉을 최소화하고 웨이퍼 운송 중 민감한 웨이퍼의 손상이나 오염을 방지하기 위해 웨이퍼 사이에 분리막을 삽입할 필요가 없다. 25-웨이퍼 용량을 가진 새로운 Shipper는 자동화 핸들링이 가능하게 되어 생산성 개선이 가능하다.
* Entegris의 200mm 비접촉식 shipper 및 다른 웨이퍼 관리 및 고급 여과 정제 솔루션을 살펴보려면 2014년 2월 12일에서 14일까지 대한민국 서울에서 열리는 세미콘 코리아 2014 전시회에서 당사 부스를 방문하거나 웹사이트 www.wafercare.com을 참조해 주십시오.
ENTEGRIS 소개
Entegris는 반도체와 기타 하이테크 산업의 공정과 제조에 사용되는 핵심 재료를 정화하고 보호하고 운송하는 다양한 제품을 제공하는 선도업체다. 대한민국 서울에서 Entegris는 ISO 9001 인증을 받았으며 미국, 중국, 프랑스, 독일, 이스라엘, 일본, 말레이시아, 싱가포르, 대한민국, 타이완에 제조, 고객 서비스 또는 연구 시설을 갖추고 있습니다. www.entegris.com에서 추가 정보를 찾을 수 있다.
웹사이트: http://www.entegris.com
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Steve Cantor
기업 홍보 부문 부사장
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