ENTEGRIS, 새로운 DI WATER용 고성능 정제 솔루션 출시
Entegris의 액체 purifier 및 purifier/filter 제품군인 Protego에 최근 추가된 Protego Plus HT/HTX는 flat 패널 디스플레이 등 다른 전자 장치 및 반도체 제조에 꼭 필요한 재료인 DI water에서 금속 이온과 기타 오염물을 제거하는 제품이다. Protego Plus HT/HTX는 최대 80°C에서 사용할 수 있으며 retention이 더 높은 제품보다 더 많은 입자를 보유하는 동시에 현재 시장에서 최고 수준의 유량과 청정도를 제공한다.
Entegris의 부사장 겸 오염 제어 솔루션팀 총 책임자인 Todd Edlund는 “차세대 반도체를 제조하려면 제조 공정에서 더 높은 순도가 필요합니다”고 말했다. 그는 “제조 공정에 극소량의 금속이나 금속 이온이 존재하게 되면 제품 결함이나 제조 수율 손실로 이어질 수 있습니다. 저희는 궁극적으로 제조 수율에 긍정적인 영향을 주는 순도 수준을 달성하는 새로운 솔루션을 개발하고 출시하는 데 집중하고 있습니다”라고 덧붙였다.
Retention이 7nm급인 Protego Plus HT/HTX는 Entegris의 filter 및 purifier인 Protego 제품군에 최근 추가된 제품으로, 중요한 청정 IPA 응용 분야 솔루션으로 새롭게 포함되었다. 새로운 Protego Plus HT/HTX 및 Entegris의 다른 오염 제어 및 Substrate Handling 솔루션은 2014년 2월 12일부터 14일까지 서울 COEX 전시관에서 열리는 세미콘 코리아 2014 전시회에 전시될 예정이다.
* Protego에 대한 추가 정보는 당사 웹사이트www.entegris.com을 방문하거나 해당 지역 고객 서비스 센터에 문의해 주십시오.
ENTEGRIS 소개
Entegris는 반도체와 기타 하이테크 산업의 공정과 제조에 사용되는 핵심 재료를 정화하고 보호하고 운송하는 다양한 제품을 제공한다. 대한민국 서울에서 Entegris는 ISO 9001 인증을 받았으며 미국, 중국, 프랑스, 독일, 이스라엘, 일본, 말레이시아, 싱가포르, 대한민국, 타이완에 제조, 고객 서비스 또는 연구 시설을 갖추고 있습니다. www.entegris.com에서 추가 정보를 찾을 수 있다.
웹사이트: http://www.entegris.com
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