Edwards, 대용량 터보 분자 진공펌프 신제품 출시
- 첨단기술이 분말 침전을 방지하기 위하여 가스 유동 성능 및 고온 관리를 개선
STPiXA4506
경질 및 중질 가스를 효율적으로 펌핑할 수 있는 능력과 함께 펌프의 고속(4300 l/s N2) 및 처리율(최대 4300 sccm N2)을 갖춘 STP-iXA4506은 반도체 에칭과 LCD 에칭, 유리 코팅, 태양열 PVD, 코팅 PVD를 비롯하여 각종 대용량 고유량 애플리케이션에 사용될 수 있다. 치밀하게 통합된 디자인에는 가장 까다로운 공장 환경에서 견고하고 신뢰할 수 있는 수준으로 작동하기 위하여 완전 밀봉된 전자 모듈이 포함된다. 필요한 경우 열관리 시스템을 추가하여 공정 부산물로 인한 침전물과 미립자의 축적을 완화할 수 있다.
에드워드 소개
에드워드는 정교한 진공 제품과 저감장치, 관련 고부가 서비스의 선도 개발업체이자 제조업체이다. 제품은 반도체와 평판 디스플레이, LED, 태양전지 제조공정에 통합되어 전력과 유리, 기타 코팅 애플리케이션, 제철 및 기타 야금, 제약 및 화학을 비롯하여 다양한 산업공정과 과학 기구 및 광범위한 R&D 애플리케이션에 사용된다.
에드워드는 상근직 직원 3,200명 이상, 비상근직 직원 500명이 약 20여개국에서 첨단 진공 및 배기 관리 장비의 설계와 제조, 지원에 종사하고 있다.
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