사이버 옵틱스, SPIE 차세대 리소그래피 전시회에서 신형 레티클센스 부유입자 센서(APSR) 선보여
- 리소그래피 기술자에게 시스템 셋업과 장기적인 수율 향상을 가져다주는 새로운 시스템
사이버옵틱스의 스보드 쿨카르니(Subodh Kulkarni) 사장 겸 CEO는 “사이버옵틱스는 기존의 웨이퍼 형태의 웨이퍼센스(WaferSense®) 부유 입자 센서(Airborne Particle Sensor, APS) 기술을 활용해 레티클 형태의 폼 팩터를 만들어 냈다. 이는 리소그래피 공정과 관련된 반도체 업계의 세계 리더의 도움으로 개발되었다. 사이버옵틱스는 최소한의 투자로 반도체 생산시설의 생산성을 향상시키고 비용을 절감할 수 있는 혁신적이고 효율적인 솔루션을 개발해 선구적인 기술 개발이라는 우리의 풍부한 역사를 지속시켜 나가고 있다”고 말했다.
리소그래피 엔지니어들은 2011년에 출시된 이후 무오염 환경이 매우 중요한 3대 제조사의 반도체 생산시설에서 사용되고 있는 검증된 웨이퍼센스(WaferSense®) 부유 입자 센서의 확장판이라고 할 수 있는 사이버옵틱스의 자체 기술에 의존할 수 있게 되었다.
마크 하나포드(Mark Hannaford) 사이버옵틱스 세일즈 및 마케팅 이사는 “전통적인 방법과는 달리 레티클 센스(ReticleSense) APSR의 무선 및 실시간 센싱 역량을 통해 사용자들은 레티클 환경에서 입자가 어디서 오는지를 확인 할 수 있게 되었다. 뿐만 아니라, APSR은 툴을 열지 않고서도 레티클이 가는 곳이라면 어디든 그리고 레티클이 이동되는 곳이라면 어디든 움직일 수 있다. 레티클센스와 웨이퍼센스 측정기기를 사용해 얻을 수 있는 결과는 툴의 가동시간 개선, 유지 관리의 최적화 그리고 결과물 개선 등이 있다”고 말했다.
새로운 레티클센스APSR에 더해 사이버옵틱스는 웨이퍼센스 제품 라인 전체를 선보일 예정이다. 여기에는 2004년 이후로 레벨링, 간극 측정, 로봇 교육, 진동 측정 및 부유입자 감지 솔루션 등을 제공하는 반도체 업계에서 체택한 웨어퍼센스(WaferSense)의 웨이퍼 형태의 폼팩터 제품이 포함된다. 웨이퍼센스( WaferSense) 제품은 200mm, 300mm 그리고450mm 웨이퍼 사이즈로 제공된다.
사이버옵틱스(CyberOptics) 소개
1984년에 설립된 사이버옵틱스 코퍼레이션(CyberOptics Corporation)은 전세계 전자조립제품 및 반도체 자본설비 시장에 공정수율 및 공정처리량 개선 솔루션을 제공하는 센서 및 검사 시스템 분야 리더이다. 사이버옵틱스는 전자제품과 일반 계량 시장을 위한 자체 제작 고정밀 3D 센서 개발 및 제조업체로 새롭게 자리매김하고 있다. 미네소타 미니애폴리스에 본사를 두고 있는 사이버옵틱스는 북미, 아시아 그리고 유럽의 시설을 통해 전세계에 진출해 있다.
사이버옵틱스의 예상 성과에 대한 진술은 미래예측진술이기에 다음의 위험과 불확실성을 내포하고 있다: 글로벌 SMT 및 반도체 자본설비 시장상황; 증가하는 가격 경쟁 및 사이버옵틱스 제품 특히 SMT시스템에 대한 가격압력; 자사 OEM 고객들의 수주 수준; 고객 수주를 맞추기 위해 필요한 부품의 공급; 글로벌 시장에서 일어나는 사건(대부분이 해외 고객들에 기인 하는)이 사이버옵틱스의 판매에 미치는 영향; 경쟁사들의 제품 출시 및 가격 책정; 2014년 매출 손실 수준과 남은 2013년에 기록한 손실; 2014년 매출과 수익 혹은 손실 수준; 새로운 OEM의 성공과 최종 사용자들의 기회여부; 이 밖에 사이버옵틱스가 미 증권거래 위원회에 제출한 보고서에 고지되어 있는 요소.
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