반도체 배선재료 알루미늄에서 구리로
금속배선 출원 중에서 구리배선이 차지하는 비율
전세계 반도체 업체의 구리배선이 사용된 반도체 웨이퍼의 소비량이 1998년에서 2003년까지 연평균 110% 증가하였다. 이는 최소 선폭 100㎚ 이하의 차세대 시스템IC 공정기술에 사용되는 배선재료로는 신호 전달 지연, 전력 손실, 고집적화 등의 문제로 기존의 알루미늄을 대신하여 구리가 채택된 결과이다.
구리는 알루미늄에 비해 가공의 어려움이 많았으나, 최근 기술발전에 따라 구리공정의 양산체제가 가능해졌다. 구리는 알루미늄에 비해 전기가 잘 흘러 미세화와 고집적화가 용이하고, 고속성능을 구현할 수 있으며, 부품의 신뢰도 및 수율을 높일 수 있는 장점이 있다.
구리배선이 사용된 반도체의 국내 출원은 1996년을 기점으로 가파르게 증가하고 있다.
국내 특허출원 동향을 살펴보면, 1995년 이전 총 31건에 불과하던 특허출원이 2003년 121건에 달하는 등 연평균 30%의 출원증가를 보이고 있으며, 향후 5년간도 30%대의 출원증가가 예상된다.
내국인 출원이 차지하는 비율은 1995년 이전 58%에 머물렀으나, 1995년부터는 90% 이상을 점유하는 등 많은 관심을 보이고 있다. 전세계 반도체 업체의 구리배선이 사용된 반도체 웨이퍼의 소비량이 증가하면서 국내 출원도 늘고 있다. 구리배선이 사용된 반도체의 국내 출원은 1996년을 기점으로 가파르게 증가하고 있다.
전세계 반도체 업체에서 구리배선이 사용된 반도체 웨이퍼의 소비량이 1998년에서 2003년까지 연평균 110% 증가하고 있다. 2004년에는 전년보다 85%가 늘어난 2,270만장이 소비된 것으로 보이며, 2005년에는 3,400만장이 필요할 것으로 예상된다. 소비량의 급증세는 당분간 이어져 2004년 이후 2009년까지 연평균 25%이상의 성장률을 보일 것으로 예상된다.
알루미늄 배선에 비해 여러 가지 장점을 가진 구리 배선의 사용이 꾸준히 증가할 것으로 예상되며, 이에 따라 구리 배선에 관한 특허분쟁이 발생할 가능성도 높아질 것이므로 경쟁력 있는 특허를 확보하는 등 관련 업체들의 적극적인 대응책 마련이 필요하다.
특허청 개요
특허청은 특허와 실용 신안, 디자인(의장) 및 상표에 관한 사무와 이에 대한 심사, 심판 사무를 수행하는 산업통상자원부 소속 행정기관이다. 대전에 본부를 두고 있다. 조직은 기획조정관, 산업재산정책국, 정보기획국, 고객협력국, 상표디자인심사국, 기계금속건설심사국, 화학생명공학심사국, 전기전자심사국, 정보통신심사국으로 구성되어 있다. 소속기관으로 특허심판원과 특허청서울사무소, 국제지식재산연수원 등이 있다.
웹사이트: http://www.kipo.go.kr
연락처
정책홍보담당관 정우영 042) 481-5027, 011-9404-5006
FAX : 042) 472-3455
