그린이노베이션으로 주목받는 기가포톤의 ArF 액침 레이저
- ArF 액침 레이저로 저환경부하 및 저소비전력을 실현하는 기가포톤의 최첨단 환경기술이 “그린이노베이션”으로 대형 반도체 제조사로부터 높은 평가 받음
기가포톤은 2000년에 창립한 이래 KrF 및 ArF 레이저의 고출력, 고성능, 고안정성을 높은 수준으로 달성시킴과 동시에 환경배려형 공장 “Green Fab”의 실현을 위한 전력절감화 등에 주력해 왔으며, 이번에 그 노력이 인정을 받아 여러 대형 반도체 제조사로부터 GT 시리즈가 낮은 소비전력, 소비가스로 가동되는 레이저임을 인정받아 높은 평가를 받게 되었다.
최근 환경을 배려하는 시점에서 지구적인 규모로 자원절약에 대한 관심이 높아지는 가운데, 기가포톤은 창립 이래 14년간 레이저 장치에 환경기술을 도입해 왔다. 그리고 2003년에는 EcoPhoton™ 프로그램을 책정하여 제품의 더 높은 효율향상, 유틸리티(전기, 가스, 물 등) 사용량의 절감에 더욱 힘써 왔다.
기가포톤의 GT 시리즈 레이저는 2003년에 발매를 시작한 이후, EcoPhoton™（주 프로그램에 따라 그린테크놀로지를 진화시켜 왔다. GT 시리즈 레이저가 도입한 주입 잠금 기술을 통해 고출력, 고성능, 고안정성을 고효율로 달성하여, 그 이전의 기술(싱글 챔버 기술)과 비교했을 때, 50%나 대폭적인 소비전력의 삭감을 실현하였다. 기가포톤은 향후에도 이 프로그램을 진화시켜 나감으로써 2019년까지 소비전력을 50% 더 삭감하며, 소비가스도 75% 삭감할 것을 목표로 하고 있다.
기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO인 토마루 히토시 씨는 ‘기가포톤이 목표로 하는 양산장치의 그린이노베이션을 높이 평가받을 수 있어서 매우 기쁘다’고 밝혔다. 그리고 “향후에도 EcoPhoton™ 프로그램을 계속해서 실현하여 반도체산업에 공헌해 가겠다”고 말했다.
EcoPhoton™ 프로그램 소개
EcoPhoton™ 프로그램은 2003년 이후 기가포톤이 그린이노베이션을 실현하기 위해 책정한 로드맵이다. 이 프로그램에서는 레이저의 가동비용(Cost of Ownership=CoO)을 소모부품에 의해 발생하는 비용(Cost of Consumable=CoC), 다운타임에 의해 발생하는 비용(Cost of Downtime=CoD), 환경부하 비용(Cost of Environment=CoE)의 3종류로 분류하여 이 비용의 요인을 상세하게 분석하였다. 또한, 신기술을 투입하여 지속적인 비용절감을 목표로 하고 있다.
기가포톤 소개
2000년에 설립된 이래, 기가포톤은 아시아 전역, 미국 및 유럽지역의 주요 반도체칩 제조사가 사용하는 사용자 편의 중심의 고성능 DUV 레이저 광원을 개발, 공급해 왔다.
기가포톤은 비용효과와 생산성이 뛰어난 리소그래피 광원의 대량생산에 선도적 역할을 하고 있다. 기가포톤은 글로벌 비지니스의 전망을 가지고 연구개발에서 제조까지 사업의 모든 과정에서 최종사용자의 요구에 초점을 맞추어 업계 최고의 신뢰성과 세계 수준의 고객지원으로 리소그래피 광원을 공급하는 세계최고의 기업이 되도록 노력하고 있다. 상세한 정보에 관해서는www.gigaphoton.com/?lang=en을 참고.
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