사이버옵틱스, 대만 국제반도체 전시회서 첨단 ‘웨이퍼센스 부유분진 센서(APS)’ 기술 전시

- 업계 선도적인 부유분진 센서 기술 한층 개선…민감도 60% 향상

- 팹 수율 개선 및 장비 가동시간 향상 지원

- 2014 대만 국제반도체 전시회(SEMICON Taiwan 2014)

뉴스 제공
CyberOptics Corporation
2014-09-01 14:00
타이페이, 대만--(Business Wire / 뉴스와이어)--전자제품 조립 및 반도체 공정 장비를 위한 지능형 검사/감지 솔루션 분야의 세계 선도기업인 사이버옵틱스 코퍼레이션(CyberOptics® Corporation, http://cyberoptics.com) (나스닥: CYBE)은 2014년 9월 3~5일 대만 타이페이시 난강구 TWC에서 개최되는 대만 국제반도체 전시회(SEMICON Taiwan, www.semicontaiwan.org/en)에 부스(426, 672호)를 마련하고 챔버 갭핑(chamber gapping), 레벨링(leveling), 웨이퍼 핸드오프 티칭(wafer handoff teaching), 진동 및 부유분진 측정을 위한 무선 측정 장비를 선보일 계획이다.

사이버옵틱스는 150mm 반도체, 갈륨비소(GaAs), LED 및 평판 디스플레이 팹(fab: 생산공장)의 부유분진 측정에 대한 시장 수요에 대응하고자 자사의 150mm 웨이퍼 폼팩터 APS 라인 최신 제품인 웨이퍼센서 부유분진 센서(WaferSense Airborne Particle Sensor) ‘APS2 150C’도 집중 소개할 예정이다. 이 회사가 새로 개발한 ‘APS2 150C’는 시간당 오계수 10 미만에 분진 민감도를 60% 개선하는 첨단 기술을 적용하고 있다.

페리스 첸(Ferris Chen) 사이버옵틱스 영업이사는 “사이버옵틱스는 고객사가 제조 품질 한계와 생산성 표준을 뛰어넘을 수 있도록 지원하고 있으며 장비 설치, 가동시간 및 장기 수율을 높일 수 있도록 뒷받침한다”고 설명했다. 그는 “반도체 팹과 주문자상표부착생산(OEM) 업체들은 사이버옵틱스 부유분진 무선 센서의 정확성, 효율성, 정밀성을 높이 평가하고 있다”며 “분진 민감도를 60% 개선한 것은 시간과 비용을 절감해 고객사에 더 많은 가치를 제공할 수 있도록 하는 기술 발전에 매진한 결과물이다”고 강조했다.

장비 엔지니어는 APS 기술에 힘입어 반도체 공정 장비와 자동화 소재 처리 시스템 내 부유분진을 무선 방식으로 빠르게 감시하고 식별하며 실시간으로 대응 조치를 취할 수 있다. ‘웨이퍼센스’(WaferSense ®)/‘레티클센스’(ReticleSense™) APS는 장비 엔지니어가 장비 검증, 장치 출시 및 유지보수 주기 투입까지의 소요 시간을 단축시키는 동시에 비용을 절감할 수 있도록 뒷받침한다. 고객들은 ‘웨이퍼센스APS’를 이용해 기존의 표면 스캔 웨이퍼 방식에 비해 작업 시간과 비용을 각각 최대 88%, 95%까지 절감하는 한편, 필요 인력은 절반으로 줄이면서 처리량은 최대 20배까지 높이는 성과를 거두고 있다. 사이버옵틱스는 이처럼 앞선 기술력으로 분진 민감도를 더욱 끌어올리는 결실을 거두게 됐으며 이로서 고객들이 누리는 혜택을 극대화하게 됐다.

사이버옵틱스는 APS, AVS(자동 진동 시스템), ALS(자동 레벨링 시스템), ATS(자동 티칭 시스템), AGS(자동 갭핑 시스템)을 망라한 ‘웨이퍼센스’ 측정 장비 전 제품군을 전시할 계획이다. 최근 발표한 ‘레티클센스 부유분진 센서’(APSR) 측정 장비도 함께 전시할 방침이다.

웨이퍼센서(WaferSense) 라인 소개

ALS, AGS, AVS, ATS, APS로 구성된 웨이퍼센스 측정 제품군은 200mm, 300mm, 350mm 크기의 웨이퍼에서 사용할 수 있다. APS와 ALS의 경우 150mm 웨이퍼에도 사용할 수 있다. APSR과 ALSR(Auto Leveling System, 자동 레벨링 시스템) 제품은 레티클 형태의 폼팩터에 사용할 수 있다.

사이버옵틱스가 제공하는 전 솔루션에 대한 정보는 웹사이트(www.cyberoptics.com)에서 찾아볼 수 있다. 또한 사이버옵틱스는 아시아 태평양 시장의 수요에 특화된 중국어 웹사이트(http://zh-cn.cyberoptics.com)도 개설했다.

사이버옵틱스(CyberOptics) 소개

1984년 설립된 사이버옵틱스 코퍼레이션(CyberOptics Corporation)은 센서 및 검사 시스템 분야의 세계 선도 기업으로 전 세계 전자제품 조립 및 반도체 장비 시장에 공정 수율과 처리량을 개선하는 솔루션을 제공하고 있다. 사이버옵틱스 제품은 표면실장 기술 회로 기판과 반도체 공정 장비를 제조하는 제품라인에 구축된다. 이 회사는 자체 개발과 인수를 통해 고정밀 3D 센서 분야의 세계 선도기업으로 자리매김하는 전략을 추구하고 있다. 미국 미네소타주 미니애폴리스에 본사를 두고 있으며 북미, 아시아, 유럽 생산 시설을 거점으로 전 세계에서 사업을 펼치고 있다.

회사의 예상 성과에 관한 진술은 미래예측 진술이며 리스크와 불확실성을 수반한다. 여기에는 △글로벌 SMT 및 반도체 장비 업계 시장 여건 △가격 경쟁 심화 및 SMT 시스템을 필두로 한 자사의 제품 판매에 대한 가격압박 △OEM 고객사의 주문 수준 △고객 수요 부응에 필요한 부품 수급 △예기치 못한 제품 개발 난관 △세계 상황이 자사 판매에 미치는 영향(주로 해외 고객에 기인) △경쟁사의 제품 출시와 가격 정책 △2014년 자사의 매출 및 손실 수준 △자사 3D 기술 전략의 성공 △LDI 관련 통합 리스크와 자사가 미국 증권거래위원회(SEC)에 제출한 자료에 기술된 그 밖의 요소가 포함되나 이에 국한되지 않는다.

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웹사이트: http://www.cyberoptics.com

연락처

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