에드워드, SEMICON® 코리아2015에서 통합 제거 솔루션 전시
- 통합된 서브팹(sub-fab) 진공 및 제거 솔루션- 반도체, LED, FPD, 및 태양광제조의 총 소유비용 현저히 경감
- SEMICON 코리아 2015
에드워드의 FPD Market Sector Manager인 이승철 전무(Charles Lee)는 “에드워드는 소유비용을 줄이고 생산성을 증대하며 최종 상품의 질을 개선하는 데 지속적으로 노력해왔다”며 “그 일환으로 우리의 통합 솔루션을 SEMICON 코리아에서 소개하게 되어 기쁘다”고 말했다. 이어서 “우리의 EZENITH™ 제품군과 같이 진공 및 제거 시스템을 단일 설비로 통합하는 것은 공정의 신뢰도 개선, 더 안전한 작업, 더욱 빠른 가동, 총 소유비용 감소 등 많은 이득을 가져다 준다”며 “통합된 시스템 안에서 진공펌프, 제거 시스템, 배기 파이프 구성 및 파이프 온도 관리 등의 최적화된 설정이 우리의 특화된 애플리케이션 엔지니어들에 의해 결정되어 최저의 소유비용으로 믿을 수 있고 예측 가능한 성과를 제공한다”고 설명했다.
또한 올해의 제품 라인업에는 에너지 소비량이 최대 95%까지 감소된 그린모드(Green Mode)를 제공하는 건식 펌프 제품들이 포함되어 있다.
· iXL120 및 iXL200 건식 펌프 -- 로드락(load-lock) 및 클린 애플리케이션에 사용 가능한 초소형 초경량 펌프,
· iXH 건식 펌프 -- 혹독한 환경의 제조 애플리케이션에 특화된 설계,
· iXM 건식 펌프 -- 최대의 신뢰도와 연장된 펌프 수명을 제공하는 에너지 저소비 펌프,
· STP 마그레브 터보 분자(maglev turbomolecular) 펌프 -- 반도체, FPD, LED, 태양광제조 등 대형, 고유량 애플리케이션을 위한 “올인원” 솔루션.
이승철 전무는 “올해 SEMICON 코리아에 다시 참가하게 된 것을 매우 자랑스럽게 여기며, 고객들과 우리의 통합 서브팹 시스템에 대해 얘기할 수 있기를 기대한다”며 “우리는 15년째 통합 진공 및 제거 시스템을 설계 및 판매해왔으며 전세계에 1000 건 이상의 시스템을 설치했다”고 말했다. 그는 “사실 우리의 건식 펌프 대부분은 한국에서 생산되어 세계로 수출된다”며 “우리는 고객들이 신뢰할 수 있는 경험을 갖추고 있다”고 말했다. 이어 “SEMICON 코리아의 모든 참가자들에게 코엑스 D홀 #5104에 위치한 에드워드코리아 부스에 들러 우리 애플리케이션 전문가들과 통합 진공 및 제거 시스템의 장점에 대해 얘기해보기를 권한다”고 덧붙였다.
에드워드의 제품 및 서비스에 대한 자세한 정보는 www.edwardsvacuum.com 참조.
에드워드(Edwards) 소개
에드워드(Edwards)는 고도의 진공 제품, 가스 처리 시스템 및 관련 고부가 서비스를 개발, 제조, 지원하는 선도적 기업이다. 이들 제품과 서비스는 반도체, 평판 디스플레이, LED, 태양 전지 생산에 필수 요소며 발전, 유리 및 기타 코팅 제품, 철강 및 기타 금속공학, 제약 및 화학 분야의 산업 공정에서 날로 그 사용 범위가 넓어지고 있다. 또한 과학 기자재 및 광범위한 연구개발(R&D) 애플리케이션에도 사용되고 있다.
에드워드는 첨단 진공 및 배기부 관리 장비의 설계, 제조, 지원을 위해 전 세계에서 4000여 명의 직원을 고용하고 있으며 유럽, 아시아 및 북미 지역에 최첨단 제조 시설을 갖추고 있다.
에드워드에 관한 자세한 정보는 회사 웹사이트(www.edwardsvacuum.com)에서 찾아볼 수 있다.
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