FST, 프로모스로부터 전극제어 칠러 수주
이번에 프로모스사에 공급하는 전극제어 칠러(모델명:FSTC-HC346)는 반도체 공정장비의 전극온도 상승을 방지해 전극의 온도를 일정하게 유지해주는 인공지능형 온도제어장치이다.
즉, 식각공정에서 발생되는 열의 양을 예측하고, 온도제어를 실행하며 TEL장비와 전극제어 칠러 사이에 실시간의 데이터를 상호교환하면서 공정온도를 관리하는 역할을 한다.
현재 프로모스사는 9월중 12인치 웨이퍼 양산을 목표로 D램 생산의 전환작업을 추진하고 있으며, 에프에스티의 전극제어 칠러는 대만 타이충(Taichung)에 위치한 프로모스 12인치 팹(FAB3) D램 생산라인의 TEL장비에 들어갈 예정이다.
그동안 대만 칠러장비 시장은 반도체 제조사가 아닌 TEL, AMAT, LRC와 같은 공정장비업체가 지정하는 스탠다드 칠러(반도체 제조사에서 칠러를 지정치 않을 경우, 공정장비회사가 칠러를 지정하는 것)가 우세였다.
이번 경우처럼 대만 반도체 제조사가 직접 칠러공급사를 지정한 것은 전례가 없었던 것으로, 에프에스티가 국내 칠러장비의 기술력을 인정받는 초석을 마련하였다고 할 수 있다.
에프에스티 김두원 사장은 “프로모스와의 계약으로 향후 대만의 1,2위 업체인 TSMC, UMC에 칠러를 공급할 수 있는 기회의 장을 마련하였으며, 대만 12인치 FAB 및 LCD 7세대 투자가 지속됨에 따라, 에프에스티의 시장전망도 밝을 것이다” 라고 설명했다.
한편, 에프에스티는 최근 TFT-LCD 글래스 생산공정에서 기판을 완성한 후 최종검사 단계에서 미세한 뒤틀림, 굴곡 등의 불량여부를 테스트하는 “유리미세정밀변형 측정기” 를 한 국내업체와 공동개발하고 납품 마무리 단계에 있다고 밝혔다.
유리미세정밀변형 측정기는 그간 일본 등 해외 수입에 전량 의존해왔던 것으로, 향후 측정기 성공이 가시화되면 취약한 국내 측정장비 분야 국산화에도 일조하게 될 것으로 보인다.
웹사이트: http://www.fstc.co.kr
연락처
엠피알비젼 오성혜 PM 02) 566-3910 016-9515-8133 이메일 보내기
