사이버옵틱스, 일본 포토마스크 기술 심포지엄서 사진 석판인쇄 스캐너의 부유 분진 신속 확인 및 해결 방법 제시
– 시간 10배 절감 사례 부각
이 심포지엄에서는 사이버옵틱스의 유키노부 하야시(Yukinobu Hayashi) 필드 애플리케이션 엔지니어가 오는 4월21일(화) 오후17:25분~19:10분에 레티클 마스크 환경에서 부유 분진 처리 시의 효율성과 효과를 높이는 방법에 관해 포스터 발표할 예정이다.
하야시 엔지니어는 “기존의 원위치(in-situ) 방식이나 휴대형 방식으로 레티클 표면을 스캔하면 석판 인쇄 애플리케이션에 있는 부유 분진을 최소화하는데 문제가 있다. 이러한 기존 방법은 실시간 피드백이 없어서 예상치 않은 분진 입자원이 검출되지 않거나 최종 확인하는데 긴 시간이 걸리는 경우가 있다”고 말하고 “사이버옵틱스는 레티클 같은 입자의 무선 계수 방식을 사용하여 부유 분진을 실시간으로 신속하게 확인하고 문제를 제거할 수 있는 보다 효율적이고 효과적인 방법을 검토할 것이다. 여기에서는 대체 방식 대비 시간을 10배 절감한 사례연구의 세부사항을 검토할 예정이다”고 덧붙였다.
‘레티클센스 에어본 파티클 센서 쿼츠’(ReticleSense®Airborne Particle Sensor Quartz, 약칭 APSRQ) 신제품은 석영 레티클을 다루는 반도체 장비에서 사용할 수 있는 석영 재질의 하우징을 갖추고 있다. 이 제품에는, 수율과 툴의 가동시간을 향상시키기 때문에 전세계 반도체 장비OEM(주문자 상표부착 생산업체)과 팹(반도체 생산공장)이 널리 사용하고 있는 사이버옵틱스의 입자 센서기술과 똑 같은 기술이 적용되었다. 반도체 팹에서 스캐너와 함께 사용하도록 설계, 개발된 ‘레티클센스 APSRQ’는 ASML, 니콘 및 캐논의 스캐너와 호환되는 데 필요한 모든 위치 조정 마크와 바코드를 갖추고 있다. ‘APSRQ’는 석영 레티클 처럼 스캐너에 직접 내장하고 레티클의 전체 경로를 따라 다니면서 입자가 발생하는 시점과 위치에서 실시간으로 입자를 검출할 수 있다.
석판 인쇄 엔지니어들은 무오염 환경을 갖춘 3대 반도체업체를 포함한 전세계 반도체 팹에서 사용되고 있는 웨이퍼 형태의 에어본 파티클 센서(Airborne Particle Sensor, APS) 디바이스인 성능이 입증된 ‘웨이퍼센스’(WaferSense®)의 확장 제품인 사이버옵틱스 ‘레티클센스’고유 기술에 의존하여 효율성을 높일 수 있다.
‘웨이퍼센스’ 및 ‘레티클센스 에어본 파티클 센서’는 장비 엔지니어들이 경비를 절감하면서 장비의 자격 획득, 생산을 위한 방출 및 유지 보수 주기를 단축할 수 있게 한다. ‘웨이퍼센스’ 센서나 ‘레티클센스’ 센서를 사용하여 기존의 표면 스캔 웨이퍼 방식에 비해 절반의 인력을 가지고 시간과 비용을 각각 최대 88%와 95% 절감하고 처리량을 최대 20배까지 높인 고객사들이 있다.
웨이퍼센스 및 레티클센스 라인 소개
웨이퍼센스(WaferSense) 측정 포트폴리오에는 오토 레벨링 시스템(Auto Leveling System, 약칭 ALS), 오토 갭핑 시스템(Auto Gapping System, 약칭 AGS), 오토 바이브레이션 시스템(Auto Vibration System, 약칭 AVS), 오토 티칭 시스템(Auto Teaching System, 약칭 ATS), 에어본 파티클 센서(Airborne Particle Sensor, 약칭 APS) 등이 있으며 이들 제품은 현재 200mm/300mm/450mm 웨이퍼 크기로 제공되고 있다. 이와 함께 APS와 ALS는 150mm 크기로도 제공된다. ‘레티클센스 에어본 파티클 센서’(ReticleSense Airborne Particle Sensor, 약칭 APSR), ‘레티클센스 오토 레벨링 시스템’(ReticleSense Auto Leveling System, 약칭 ALSR)과 새로 나온 ‘레티클센스 에어본 파티클 센서 쿼츠(APSRQ)’는 레티클 모양의 폼팩터로 제공된다.
사이버옵틱스의 전체 솔루션 라인에 대한 자세한 정보는 웹사이트(www.cyberoptics.com)에서 찾아볼 수 있다.
사이버옵틱스(CyberOptics) 소개
사이버옵틱스 코퍼레이션(CyberOptics Corporation)(나스닥: CYBE)은 고정밀 센싱 기술 솔루션을 개발, 생산하는 세계 선도 기업이다. 사이버옵틱스 센서는 범용 측정기술과 3D 스캐닝, 표면 실장기술(SMT) 반도체 시장에서 수율과 생산성을 획기적으로 높이기 위해 사용되고 있다. 이 회사는 첨단 기술을 발판 삼아 고정밀 3D 센서 분야의 세계 리더 기업으로 전략적 위치를 구축했으며 이로써 주요 수직 부문 공략을 강화하고 있다. 미국 미네소타주 미니애폴리스에 본사를 둔 사이버옵틱스는 북미, 아시아, 유럽에 위치한 공장을 통해 전 세계에서 사업을 펼치고 있다.
회사의 예상 성과에 관한 진술은 미래예측 진술이며 리스크와 불확실성을 수반한다. 여기에는 △글로벌 SMT 및 반도체 장비 업계 시장 여건 △가격 경쟁 심화 및 SMT 시스템을 필두로 한 자사의 제품 판매에 대한 가격압박 △OEM 고객사의 주문 수준 △고객 수요 부응에 필요한 부품 수급 △예기치 못한 제품 개발 난관 △세계 상황이 자사 판매에 미치는 영향(주로 해외 고객에 기인) △ 전자제품 시장의 급격한 기술 변화 △경쟁사의 제품 출시와 가격 정책 △자사 3D 기술 전략의 성공 △ LDI에 대한 예상과 자사의 경영에 대한 영향 △LDI 관련 통합 리스크 △ 최소 10%의 매출 신장과 2015년 손익분기 경영성과에 대한 전망과 자사가 미국 증권거래위원회(SEC)에 제출한 자료에 기술된 그 밖의 요소가 포함되나 이에 국한되지 않는다.
모든 명칭은 개별 회사의 상표이다.
[이 보도자료는 해당 기업에서 원하는 언어로 작성한 원문을 한국어로 번역한 것이다. 그러므로 번역문의 정확한 사실 확인을 위해서는 원문 대조 절차를 거쳐야 한다. 처음 작성된 원문만이 공식적인 효력을 갖는 발표로 인정되며 모든 법적 책임은 원문에 한해 유효하다.]
웹사이트: http://www.cyberoptics.com
연락처
그라우PR(GrauPR)
리사 그라우(Lisa Grau)
760-207-9090
lisa@graupr.com
CyberOptics
칼라 피호비치(Carla Pihowich)
952-229-4240
cpihowich@cyberoptics.com
이 보도자료는 CyberOptics Corporation가(이) 작성해 뉴스와이어 서비스를 통해 배포한 뉴스입니다. 뉴스와이어는 편집 가이드라인을 준수합니다.
