기가포톤, 신형 엑시머 레이저 “GIGANEX”를 FPD 업계에 최초 도입
대형 액정 제조 설비 공장 LTPS(저온 다결정 실리콘) TFT 액정 패널의 시험 제작 성공에 공헌
최근 기가포톤은 반도체 리소그래피용 엑시머 레이저에서 축적한 기술을 다른 분야에서 응용하기 위해 FPD 제조에 대한 a-Si(비정질 실리콘)막의 극소 레이저 어닐링 공정용 엑시머 레이저 개발을 진행하고 있으며, 이번에 개발에 성공한 신형 엑시머 레이저 “GIGANEX”의 시험 제작기를 패널 제조업체에 출하했습니다. 2016년 5월 22~27일에 미국에서 개최된 Display Week 2016에서는 시험 제작 패널이 출품되어 많은 반향을 불러 일으켰습니다.
이 “GIGANEX” 시리즈의 어닐링용 엑시머 레이저는 브이 테크놀로지사가 제작한 장치의 전용기로, 극소 레이저 어닐링 공정의 광원으로 개발되었습니다. 극소 레이저 어닐링의 특징은 기존의 a-Si 패널 제조 공정에 도입하여 a-Si를 p-Si(폴리 실리콘)로 결정화하면 기존의 a-Si에서는 제작할 수 없었던 8K 등의 고화질 패널 제조가 가능하게 된다는 점니다. 또한 기존의 레이저 어닐링에서는 실현할 수 없었던 대형 패널 크기에도 적합하므로 50-70인치의 TV 패널을 제조하는 대형 액정 제조 설비 공장에서도 대응할 수 있습니다.
기가포톤 대표 이사 사장 겸 CEO인 토마루 히토시는 이렇게 소감을 밝혔습니다. ‘새로운 분야를 위한 당사의 엑시머 레이저 “GIGANEX”가 FPD 업계에 도입되어 패널 제조업체의 LTPS TFT 액정 패널 시험 제작 성공에 크게 공헌할 수 있었던 것을 매우 기쁘게 생각합니다. 향후 “GIGANEX”가 FPD 제조상의 새로운 솔루션으로 자리잡아 업계에 공헌할 수 있기를 기대하고 있습니다.’
GIGANEX
지금까지 기가포톤이 반도체 리소그래피에서 축적한 높은 기술력을 살린 신형 엑시머 레이저 “GIGANEX”는 FPD 제조·플렉서블 디바이스 프로세스·리소그래피 이외의 반도체 제조 등의 분야를 위한 엑시머 레이저의 새로운 브랜드입니다. 새로운 혁신을 함께 창조하는 파트너와 함께 엑시머 레이저의 무한한 가능성을 탐색하면서 GIGANEX의 솔루션을 제공해 나가겠습니다.
자세한 내용은 이곳을 참조
http://www.gigaphoton.com/ja/products/other/giganex-series
기가포톤 개요
2000년에 설립한 이래 기가포톤은 레이저 공급업체로서, 가치 있는 솔루션을 세계의 반도체 제조업체에 끊임없이 제공하고 있습니다. 기가포톤은 연구 개발부터 제조·판매·보수 서비스까지 항상 사용자 입장에 선 업계 최고 수준의 지원을 약속합니다. 자세한 내용은 www.gigaphoton.com 을 참조해 주십시오.
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