기가포톤, 헬륨가스 사용량 연간 1만 킬로리터 감축 달성
세계 최초 헬륨을 사용하지 않는 ‘퍼지 공정’의 글로벌 전개
기가포톤은 2013년부터 환경에 미치는 영향을 줄이는 고객사의 ‘그린 이노베이션' 활동을 독자적인 ‘에코포톤(EcoPhoton) 프로그램’을 통해 진행 중이며, 축적한 풍부한 실적과 경험을 바탕으로 지금까지 주로 고객사의 다양한 비용을 절감해 왔다. 또한 7월에는 그린 이노베이션의 새로운 로드맵도 발표했다. 헬륨가스 공급 우려에 대한 솔루션인 ‘무헬륨’ 기술은 반도체 업계뿐만 아니라 산업계에 널리 기여하고 있다.
‘무헬륨’ 기술은 ArF 레이저 안에서 퍼지 가스로 사용되는 헬륨가스를 질소로 대체함으로써 헬륨가스의 사용량을 99％ 감축시키는 세계 최초 기술이다. 또한 질소로 대체하더라도 광학 특성을 훼손시키지 않으면서 헬륨가스를 사용 할 때와 동등하게 뛰어난 안정성을 유지할 수 있는 특징이 있다. 한 대형 메모리 제조업체가 이미 양산 라인의 90％ 이상의 레이저에 이 기술을 채택했다. 채택 후에도 노광 프로세스에 영향을 주지 않고 안정적으로 가동 중이다. 현재 ‘무헬륨’ 기술을 이용하여 얻어지는 ArF 레이저 1대당 헬륨가스 감축량은 연간 평균 약 80킬로리터지만, 시장에 있는 과반수의 레이저에 이 기술이 적용되었기 때문에 전세계적으로 헬륨가스 감축량은 연간 총 1만 킬로리터를 기록했다(당사 조사).
기가포톤 대표이사 겸 CEO인 토마루 히토시는 “헬륨은 반도체 업계보다도 MRI등의 의료분야 및 자기부상열차 등의 분야에서 대체가 힘든 물질로 수요가 매우 높다. 신흥국에서의 수요는 계속 증가하고 있는 반면, 공급 능력은 늘지 않아 헬륨 부족 우려가 높다. 반도체 업계가 이 ‘무헬륨’ 기술 채택함으로써, 헬륨을 더 필요로 하는 분야로 공급을 늘릴 수 있게 되었다. 기가포톤은 산업계에 이러한 공헌을 해나가는 데 계속 매진하겠다”고 말했다.
‘그린 이노베이션 새 로드맵’에 관한 보도자료
에코포톤(EcoPhoton™) 프로그램 개요
EcoPhoton™ 프로그램은 2003년 이후 기가포톤이 그린이노베이션을 실현하기 위해 책정한 로드맵이다. 이 프로그램에서는 레이저의 가동비용(Cost of Ownership=CoO)을 소모 부품에 의해 발생하는 비용(Cost of Consumable=CoC), 다운타임에 의해 발생하는 비용(Cost of Downtime=CoD), 환경부하 비용(Cost of Environment=CoE)의 3종류로 분류하여, 이러한 비용의 요인을 상세하게 분석하였다. 에코포톤 프로그램은 혁신적인 그린 테크놀로지의 개발에 의해 이러한 세가지 비용의 지속적인 감소를 목표로 하고 있다.
기가포톤(Gigaphoton) 개요
기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해 왔다. 기가포톤은 초기 연구 개발 단계부터 제조, 판매, 보수 서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계 최고 수준의 지원을 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.
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그린 이노베이션 새 로드맵: http://www.gigaphoton.com/kr/news/4650
웹사이트: http://www.gigaphoton.com/?lang=en
연락처
기가포톤(Gigaphoton Inc.)
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