스크린 세미컨덕터 솔루션즈와 IBM 리서치, 뉴욕 올버니에서 첨단 논리 공정 연구 협력
IBM 리서치 반도체 그룹(IBM Research’s Semiconductor Group) 무케시 카레(Mukesh Khare) 부사장은 “IBM은 반도체 기술의 한계를 확장하는 적극적인 연구 과제에 전념해왔다”며 “재료, 공정, 디바이스 구조에서의 혁신은 미래의 클라우드 컴퓨팅과 인지 시스템의 요구를 충족시키기 위한 기술 연구를 가속화하는 데 중요하다”고 말했다.
SCREEN 세미컨덕터 솔루션즈(SCREEN Semiconductor Solutions)의 스하라 다다히로(Tadahiro Suhara) 사장은 “IBM이 첨단 논리 반도체 연구에 우리를 선택해 기쁘다”며 “이는 우리의 SCREEN 장비 기술과 자원이 웻 클린(wet clean), 열처리, 도포/현상 트랙 등의 다중 분야에서 반도체 공정 개발을 앞당기기 위한 실험이다”고 말했다.
SCREEN 장비 트리오 중 첫번째를 IBM에 설치하는 것은 7나노미터 이상을 포함한 첨단 노드용 반도체 제조에 고선별적이고 잔존물이 없고 상해가 없는 웻 클린 공정 개발을 위해 기획된 아쿠아스핀(Aquaspin) SU-3200이다. IBM은 프랑스에 있는 SCREEN 자회사인 유럽 레이저 시스템과 솔루션(Laser Systems and Solutions of Europe, LASSE)의 LT-3100 시스템으로 멜트 액티베이션과 핵심층의 재결정을 포함한 나노초 급의 UV 레이저 열처리 애플리케이션도 평가하게 된다. IBM은 DT-3000 DUO Track 시스템을 통합해 EUV 수월성 센터 리소그래피 패턴 툴세트로 도포하고 DSA(Directed Self-Assembly)와 SOD(Spin-On Dielectrics)를 진척시키는 우호적인 결과를 예상한다.
이 세 가지 새로운 SCREEN 툴세트는 연말 전에 SUNY 폴리테크닉 연구소(SUNY Polytechnic Institute)의 나노급 과학과 엔지니어링 대학(Colleges of Nanoscale Science and Engineering, CNSE) 내 IBM 리서치 올버니 나노테크에 전달될 것으로 보인다. IBM용 300mm 웨이퍼 장비 세트는 올버니에서 SCREEN의 입지를 확장해준다.
IBM 리서치(IBM Research) 개요
70여년 동안 IBM 리서치는 6개 대륙에 퍼져 있는 13개 랩의 3000명 이상의 연구자들과 함께 정보기술의 미래를 정의해왔다. IBM 리서치의 과학자들은 6개 노벨상과 10개 미국 기술메달(National Medals of Technology), 5개 미국 과학메달(National Medals of Science), 6개 혁신상(Turing Awards), 19명의 미국 국립과학원(National Academy of Sciences) 등록과 19명의 미국 발명가명예의전당(National Inventors Hall of Fame) 회원이 됐다.
자세한 정보는 www.ibm.com/research 에서 확인할 수 있다.
SCREEN 세미컨덕터 솔루션즈(SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd) 개요
SCREEN 세미컨덕터 솔루션즈는 전신인 다이니폰 스크린(Dainippon Screen)으로부터 반도체 장비 사업을 물려받은 SCREEN 홀딩스 그룹 컴퍼니로서 설립됐다. SCREEN은 웨이퍼 클리닝 장비, 리소그래피 장비, 열처리 같은 다양한 분야의 전문 제조업체로서 반도체 제조 산업에 장비를 공급하는 세계 탑 10기업에 속한다.
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