스크린 세미컨덕터 솔루션즈와 레티, 레이저 열처리 기술에 관한 협력 확대
레티의 최고경영자 마리 세메리아(Marie Semeria)는 “레티의 최첨단, 전산업화 장비 인프라에 스크린의 나노세컨드 자외선 레이저 열처리 툴을 도입하여 현장에서 현재와 미래 기술을 혁신할 기회를 만들고자 한다”며 “실리콘 온 인슐레이터(SOI), CoolCubeTM, 나노선 기술개발로 인해, 새로운 재료 특성을 개발하고 최소한의 열충격으로 초박막 필름 수정을 이뤄내기가 점점 어려워지고 있다”고 말했다. 이어 “LT-3100 시스템을 통해 기술 개발을 위한 솔루션을 찾아내어 이 산업 부문의 실질적인 발전을 이뤄낼 수 있기를 기대한다”고 밝혔다.
스크린 세미컨덕터 솔루션즈의 사장 스하라 다다히로(Tadahiro Suhara)는 “오래 전부터 레티와 공동 개발을 통해 성공적인 성과를 거둬온 만큼, 이번에 우리 회사의 레이저 기술을 레티의 생태계에 접목시켜 ‘모어 댄 무어(More than Moore)’, 사물인터넷, 미래의 혁신 기술 요구를 지원할 수 있게 되어 대단히 기쁘다”며 “협력 활동 외에도 우리는 레티의 최첨단 인프라를 이용하여 우리 회사의 LASSE 유럽 데모 연구소가 고객들에게 탁월한 인프라 능력을 보여줄 수 있도록 할 예정이다”고 말했다. 이어 “우리 회사의 나노세컨드 자외선 레이저 장비 기술과 자원이 레티가 지원하는 다양한 분야의 연구 및 개발 부문에서 반도체 공정 개발을 촉진시킨다는 점을 증명해 그만한 혁신 가치가 있음을 보여주려 한다”고 각오를 밝혔다.
이 레이저 툴은 2017년 상반기에 완전 가동 상태에 이르러 레티 실험실의 다양한 요구에 부합하는 다양한 웨이퍼 사이즈 요구 조건을 지원할 것으로 예상된다.
레티(Leti)(프랑스) 개요
CEA 기술 연구 부문(CEA Technological Research Division) 산하 3개 첨단 연구소 중 한 곳인 레티는 마이크로 및 나노 기술 기초 연구와 제품화를 잇는 가교 역할을 통해 전 세계인의 삶을 향상시키고 있다. 레티는 혁신을 구현하고 이를 산업 현장에 접목하는 데 주력하고 있다. 레티는 2800개 특허 포트폴리오를 바탕으로 거대 기업, 중소 기업, 신생기업과 손잡고 각 사 경쟁력을 강화할 수 있는 첨단 솔루션 맞춤화를 지원하고 있다. 레티는 59개 스타트업 기업을 출범했다. 8500제곱미터(m²)에 이르는 차세대 클린룸 공간에는 우주부터 스마트 기기를 아우르는 애플리케이션을 위한 마이크로 및 나노 솔루션의 200mm/300mm 웨이퍼 가공 능력을 갖추고 있다. 1900여 명의 직원과 함께 하는 레티는 프랑스 그르노블에 본사를 두고 있으며 미국 캘리포니아 주 실리콘 밸리, 일본 도쿄에 사무소를 운영하고 있다. CEA(프랑스 대체 에너지 및 원자력 위원회)의 기술 연구 지사인 CEA테크는 혁신적 연구개발, 국방 및 안보, 핵에너지, 산업용 과학기술 연구, 기초 과학 분야에서 핵심 역할을 수행하고 있으며, 톰슨 로이터(Thomson Reuters)로부터 세계에서 가정 혁신적인 연구 조직으로 인정받았다. CEA테크는 관련 산업 분야의 신기술을 개발 및 전파하고, 고급 제품을 만들어 경쟁 우위를 점하기 위해, 독특한 혁신주도형 문화와 타의 추종을 불허하는 전문기술을 강화하고 있다. 자세한 내용은 www.leti.fr 와 @CEA_Leti 참조.
스크린 세미컨덕터 솔루션즈(SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd) 개요
스크린 세미컨덕터 솔루션즈는 전신인 다이니폰 스크린(Dainippon Screen)으로부터 반도체 장비 사업을 물려받은 스크린 홀딩스(SCREEN Holdings) 그룹 계열사로서 설립됐다. 스크린은 웨이퍼 클리닝 장비, 리소그래피 장비, 열처리 같은 다양한 분야의 전문 제조업체로서 반도체 제조 산업에 장비를 공급하는 세계 탑 10기업에 속한다.
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