필옵틱스, IMID 2018서 3D 검사기 최초 공개
나노급 Specular Surface 3D 형상 측정 기술 적용
디스플레이, 이차전지 분야 적용 후 반도체, 어드밴스드 패키지 분야 확대 계획
필옵틱스의 3D 검사기는 패턴의 위상차를 이용한 측정 기술을 활용해 대면적 디스플레이와 웨이퍼(Wafer)의 균열(Crack)과 결함(Defect)을 빠른 시간 내에 고속으로 초정밀 검사하는 장비다. 3D 컴퓨터를 사용한 이미징 기술을 적용해 기존 검사기에서는 식별이 어려웠던 찍힘이나 표면 결함 검출이 가능한 강점이 있다.
필옵틱스는 당사의 3D 검사기는 기존에 검출되지 않던 불량 식별이 가능하고 속도도 획기적으로 빨라져 샘플 검사뿐 아니라, 양산 프로세스의 검사에 사용될 수 있어 생산성과 양품률 향상을 추구하는 고객들의 반응이 뜨겁다며 국내외 디스플레이 회사들뿐 아니라 각종 전자 부품 제조사 등 고객사들의 미팅 예약 문의도 지속 접수 중이라고 밝혔다.
필옵틱스는 신개념 3D 검사 기술을 주요 사업인 디스플레이, 이차전지 분야뿐만 아니라, 반도체 및 어드밴스드 패키지(Advanced Package) 분야의 나노(nm)급 결함 검사 등에도 적용할 예정이다.
한편 필옵틱스는 7월 이사회 결의를 통해 3D 검사기의 조속한 기술 개발 완료와 상업화를 추진하고 연구 분야에 필요한 핵심 인력의 원활한 수급을 위해 미국 법인 설립을 승인한 바 있다. 필옵틱스는 26일까지 서울 코엑스에서 열리는 ‘IMID 2018’에서 3D 검사기와 더불어 고속 레이저 가공 기술 등 다양한 OLED 디스플레이 레이저 공정장비 라인업과 첨단 기술력을 소개할 계획이다.
웹사이트: http://www.philoptics.com/main.php
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