세계 최대 LCD 장비업체 AKT, 8세대 PECVD 장비 개발

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AKT

2005-10-19 10:30

서울--(뉴스와이어)--세계 1위 LCD 장비 업체 AKT는 8세대 플라즈마 화학증착장비(PECVD)인 AKT-50K PECVD 개발에 성공했다고 19일 밝혔다.

AKT-50K PECVD는 2160mm x 2400mm 크기의 유리기판 1장당 6장의 LCD용 52인치 평판 TV 스크린을 생산할 수 있어 이전 모델인 7세대 장비와 비교하여 2배의 52인치 LCD용 평판 TV 스크린을 생산할 수 있는 능력을 가지고 있다.

AKT-50K PECVD의 기판 처리 능력은 연속적인 3층 복합 증착막(gate-SiNx, a-Si, n+a-Si)으로는 시간당 30장 이상의 기판을 처리할 수 있으며, 단층 증착 막으로는 시간당 60장 이상의 기판을 처리할 수 있는 현존하는 가장 빠른 공정 시스템이다.

AKT-50K PECVD는 이미 8세대 LCD라인을 준비중인 LCD 패널 제조사로부터 제작주문을 받은 상태이며 2006년 초 공급될 예정이다.

새로운 AKT-50K PECVD 시스템은 지난 12년 동안 평판 패널 화학증착장비(CVD) 시장에서 부동의 1위를 유지해 온 원동력이었던 AKT의 멀티챔버(multi-chamber) 플랫폼 구조와 기술을 바탕으로 제작되었다.

이 시스템의 핵심 기술은 AKT-APX1TM PECVD 공정 챔버 디자인에 있다. 이 기술은 플라즈마 분배를 통제하여 5M2 이상의 넓은 기판에 필름 균일성을 확보할 수 있는 AKT만의 독점 기술이다.

웬델 블로니간 AKT 사장 겸 어플라드 머티리얼즈 부사장은 “대형 평판TV의 판매가 지난 3년간 급격하게 증가하고 있다. LCD 관련 기술이 컴퓨터 모니터와 같은 TV응용제품을 차지한 것과 같이 TV분야에서도 기존 브라운관(CRT)과 PDP 기술을 빠르게 대체하고 있다” 며 “새로운 AKT-50K PECVD 시스템은 뛰어난 생산력으로 AKT 고객사인 LCD 패널 제조사들의 생산비를 절감시켜 소비자들이 수용 가능한 가격까지 LCD-TV의 가격을 낮출 수 있게 할 것이다.”라고 말했다.